1
Изобретение относится к области онтического приборостроения -и предназначено для контроля оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра.
Известен интерферометр для контроля качества оптических деталей, например асферических зеркал и линз большого диаметра, содержаш,ий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, объектив, создающий точечный источник света, светоделительный блок в виде плоскопараллельной пластинки, эталонную, рабочую и наблюдательные ветви и компенсатор, установленный в рабочей ветви.
В известном интерферометре эталонный волновой фронт и волновой фронт сравнения создаются с помош,ью светоделительного элемента - нлосконараллельной пластинки, к которому предъявляются высокие требования к точности его изготовления и установки в интерферометре.
Кроме того, эталонный волновой фронт в известном интерферометре создается с помонцью специальной оптической детали - сферического или плоского зеркала, установленного в эталонной ветви.
Наличие высокочастотного разделительного элемента и эталонной ветви усложняет конструкцию интерферометра. Предлагаемый интерферометр отличается от
известного тем, что, с целью упрощения его, компенсатор установлен между объективом и контролируемой деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической
поверхности компенсатора совмещен с задним (|)окусом объектива, и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой (зроит сравнения, а .тучи, преломленные или отраженные при участии всего компенсатора в целом - эталонный волновой фронт заданной формы; кроме того, с целью контроля менисковых иоложительиых линз, компенсатор выполнен )i виде плосковогнутой .чиизы, плоская поверхность которой обраи1ена к контролируемой линзе.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра; на фиг. 2 - рабочая ficTBh интерферометра при iconTpo/ie менискоаы полол ительных линз.
Интерферометр содержит монохроматический источник света У, иапример, оптический квантовый генератор, нолупрозрачную пл астпику 2, объектив 3, компенсатор 4, экран 5; 6 - контролируемая деталь, например, линза
большого диаметра.
Рабочая ветвь образована компенсатором 4 и контролируемой деталью 6, наблюдательная - экраном 5.
Работает предлагаемый интерферометр следующим образом.
Параллельный пучок лучей, идущий из оптического квантового генератора, проходит через полупрозрачную пластинку 2 и направляется к объективу 3, который фокусирует лучи в заднем фокусе F. После объектива 3 расположен компенсатор 4, у которого первая поверхность является вогнутой сферической, причем центр кривизны С этой поверхности совмещен с задним фокусом F объектива 3. Лучи, отраженные от первой поверхности компенсатора, создают эталонный сферический волновой фронт сравнения. Преломленные компенсатором лучи после выхода из него также создают эталонный волновой фронт, форма которого определяется параметрами контролируемой детали. Например, для случая, изображенного на фиг. 1, волновой фронт, выходящий из компенсатора, является асферическим, но после прелом.тения на первой поверхности контролируемой линзы 6 преобразуется в сферический, совпадающий с теоретической формой второй, выпуклой поверхности линзы 6. Поэтому после отражения от нее лучи новторяют свой путь в обратном направлении и интерферируют с лучами, отраженными от первой поверхности компенсатора 4. По возникающей интерференционной картине, которую наблюдают при помощи экрана 5, делают заключение о качестве контролируемой детали.
Отличительной особенностью интерферометра является устройство и положение компенсатора, с помощью которого одновременно создаются два эталонных волновых фронта: сферический волновой фронт сравнения и рабочий волновой фронт, форма которого определяется параметрами контролируемой детали.
К полупрозрачной пластинке 2 и объективу 3 не предъявляются высокие требования, так как них всегда проходят только совмещенные пучки лучей. Поэтому в предлагаемом интерферометре, в отличие от известных, содержится только одна детал-ь, к которой
предъявляются высокие требования, - компенсатор.
Интерферометр может быть применен для контроля качества вогнутых асферических поверхностей и линз большого диаметра. На фиг. 2 показано взаимное расположение компенсатора 4 в виде плосковогнутой линзы и менисковой линзы 6, диаметр которой в несколько раз превышает диаметр компенсатора 4.
Предлагаемый интерферометр позволяет с помощью компенсатора малого диаметра получить интерференционную картину одновременно всей контролируемой поверхности, а не
отдельных ее участков, что повышает надежность и точность контроля.
Предмет изобретения
1. Р1нтерферометр для контроля качества оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, обьектив, создающий точечный источник света, рабочую и наблюдательные ветви, и линзовый компенсатор, отличающийся тем, что, с це«1ью упрощения интерферометра, компенса-шр установлен между объективом и контролируемой
деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической поверхности компенсатора совмещен с задним фокусом объектива, и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой фронт сравнения,
а лучи, нреломленные или отраженные при участии всего компенсатора в целом,- эта. ониый волновой фронт заданной формы.
2. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля менисковых ноложнтельных линз, компенсатор выполнен в виде плосковогнутой- линзы, плоская поверхность которой обращена к контролируемой линзе.
83s
и
Фиг. i
Фаг. 2
