КВАРЦЕВЫЕ УЛЫРАМИКРОВЕСЫ:• ^•^'^-••] \-^•'^Al^u'i2.\AРОТЛО ,':,Г: ^'I ^ Uo_^.0,,,^... ,.,J '•:-^ ПЛ|-:^;;т;|з ..... Советский патент 1964 года по МПК G01G3/10 

Кварцевые ультрамикровесы, применяемые при ультрамикроаиализе в промышленности полупроводников в тех случаях, где требуется взвешивание очень малых масс с высокой точностью, уже известны.

Предложенные кварцевые ультрамккровес.ы обладают большой точностью определения масс, малой вариацией, устойчивостью к вибрации, удобной системой отсчета и онределением малых масс до 5 - .

Указанные преимущества достигаются благодаря тому, что коромысло весов имеет одну торсионную нить с натяжным элементом, выполненным в виде кварцевой спиральной пружины и расположенным соосно с опорной торсионной нитью, а концы коромысла выполнены в виде вилки, между концами которой натянута концевая торсионная нить, имеюшая переменное сечение: большее-в местах соединения ее с концами вилки и с подвеской и меньшее-в остальной части. Кроме того, с целью устранения залипания, спиральные пружины упоров изготовлены из кварца, а нижний конец их выполнен в виде стержня.

На чертеже представлена схема коромысла ультрамикровесов.

Коромысло 1 состоит из несущего кварцероге стержня, концы которого выполнены в

виде вилок н вспомогательных стер лис;:. o:iразующпх треугольную форму. Па концы пилок натянуты торсионные нити 2, нмекг.цио переменное сечение: большее- в мсстпх COL;I:;нения с концами вилок и с поднеслал:; ; ;: меньшее - в остальной час7н.

Подвески жестко соедпяепы с KciuieBL-LMii торсионными нитями 2 в нептре вилок. В центре коромысла, под местом соединения его с опорной торсионной питью 4, прпкреи.юно вогнутое зеркало 5, га которое с помо:дьк1 известных оптических средств направляется луч света, который отражается на экране отсчетного устройства. Опорная торсионная нить 4 имеет натяжной элемент 6, выполненный п виде спиральной кварцевой пружины, кгнец которой соединен с нитью 4 соосно.

Упоры, ограничивающне угол поворота коромысла, представляют собой спиральные пружины 7. Концы пружин заканчиваются диаметральной прямой лннней. В момент нлложеиия массы на подвеску пружина часткчип деформируется и ири достижении коромыслом равновесия своей потенциальной силой от алкивает полотно коромысла от себя, ликвидируя залипание коромысла к упорам.

Концевые торсионные нити 2, натянхтые горизонтально, не создают дополнительной вариации показаний весов от нецентрального наложения массы на чашку весов.

Предмет изобретения

1. Кварцевые ультрамикровесы с коромыслом, содержащим одну опорную торсионную нить с натяжным элементом и вогнутым зеркалом, укрепленным в центре коромысла, концевые торсионные нити, связанные с подвесками и упорными пружинами, отличающиес я тем, что, с целью повыщения точности измерения, коромысло имеет одну торсионную нить с натяжным элементом, выполненным в

виде кварцевой спиральной пружины, расположенным соосно с опорной торсионной нитью.

2.У; ьтра:«;икр01 есы по п. . отличающиеся тем, что ко11п,ы коромысла их выполнены в : 10 i;: ;i;;i;. которой натянута копиозаи T()pc; o;;iia ; 1;ить, имеюи1ая переменное ссчс11 ;с: больлюс -- ; местах соединения се с копнами иы.пки и с под сской и меньшее - ;5 оста,лы1О1 1 части.

3.Ультрамикропесы по по. 1 и 2, отлич а ю щ и е с я тем, тго, с целью устранения залипаиня, спира;1ь;::лс пружины упоров изготовлены из киарца, к нижний кочец их выполнен в внде стержня.

.. и