ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК Советский патент 1964 года по МПК H01J3/04 H01J27/16 

Высокочастотные иоиные источники с фокусирующей системой известны.

Предлагаемый источник отличается от известных тем, что для управления ионным током иучка между его катодом и первым электродом фокусирующей системы помещен управляющий электрод.

На чертеже изображен высокочастотный ионный источник с управляющим электродом.

Источник содержит систему вытягивания, состоящую из изолирующей диафрагмы /, катода 2, держателя 3 изолирующей диафрагмы или анода, изолятора 4, отштампованного из пирекса. Посадочное гнездо изолятора расточено. Катод 2 установлен в держателе 5 с помощью медной гайки 6.

Центровка управляющего электрода 7 относительно оси канала катода 2 производится кольцевым выступом изолятора 4, который плотно входит в кольцевую выточку управляющего электрода. Верхняя часть буртика кольцевой выточки упирается в плоскую часть изолятора 4, образующую кольцо вокруг выступа, что позволяет фиксировать электрод 7 на расстоянии 0,5 мм от нижней поверхности катода 2. Управляющий электрод имеет отверстие диаметром 1 мм для ирохождения ионного пучка. Механические усилия, возникающие при сборке и тепловых

расширениях во время работы, воспринимаются ко.мпенснрующей пружиной 5, которая упирается в держатель 9 управляющего электрода. Для лучшей центровки все электроды фокусирующих линз имеют скользящую посадку.

Когда в разрядной камере 10 возбул ден разряд и между анодом } и катодом 2 приложено напрялчение, ионный пучок, сформированный в иониооптической системе, проходит через канал катода, как в любой зондовой системе вытягивания. Если иотенциал управляющего электрода 7 равен или близок к потенциалу катода 2, тс ионный пучок проходит через управляющий электрод 7 и попадает в область системы фокусировки.

При повышении потенциала управляющего электрода ионный пучок после выхода из канала катода 2 начинает тормозиться и вследствие влияния объемного заряда расширяться. По мере увеличения потенциала управляющего электрода 7 ионный пучок вначале попадает на управляющий электрод и частично на катод, затем все большая часть ионного тока попадает на катод и, когда потенциал управляющего электрода 7 будет выше потенциала анода //, весь ионный ток поступит на нижнюю часть канала катода 2, не входя в область фокусирующей системы. Пзменяя

потенциал управляющего электрода, можно менять величин) ионного тока от нуля до максимума, соответственно режиму работы системы вытягивания.

Если на запертый управляющий электрод подавать отрицательные относительно катода импульсы, то можно получать импульсы ионного тока с амплитудой, соответствующей току в постоянном режиме.

Олисываемый источник предназначен для электростатических ускорителей.

Предмет изобретения

Высокочастотный ионный источник с фокусирующей системой, отличающийся тем, что, с целью управления ионным током пучка, между катодом источника и первым электродом фокусирующей системы помеп ен управляющий электрод.

ГП-i;:n

4- V%r