СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ШТРИХОВ НА ЗЕРКАЛЬНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ШКАЛЫ Советский патент 1995 года по МПК G01D15/34 

Изобретение относится к лазерной технологии и может быть использовано для нанесения микроскопических шкал или сеток на поверхности оптических элементов.

Цель изобретения расширение диапазона расстояний между наносимыми штрихами.

На чертеже представлена схема установки для реализации предлагаемого способа.

Подложка из стекла К8 с напыленной на нее пленкой алюминия толщиной 800 обрабатывается излучением импульсного ТЕА-лазера 1 на СО₂ с длиной волны излучения 10,6 мкм. Вогнутое зеркало резонатора 2, выполненное из нержавеющей стали, имеет радиус кривизны 5 м. При использовании в качестве плоского выходного зеркала плоскопаралелльной пластины из германия и при длине резонатора 1 м энергия импульсов излучения составляет 1,2 Дж при длительности импульса 150 нс. Обрабатываемая подложка устанавливается в качестве поворотного зеркала 3 резонатора на расстоянии 291 см от зеркала 2 и на расстоянии 102 см от зеркала 4, выполненного из меди. Угол поворота лазерного пучка устанавливается равным 0,15^о. При интенсивности импульсного лазерного излучения 110 МВт/см² на поверхности зеркала 3 наблюдается возникновение плазменного факела. При этом на поверхности данного зеркала в области 1,24х0,79 мм происходит образование штрихов, ширина которых составляет 0,3 мкм, а расстояние между штрихами 66 мкм.

При использовании данного лазера за счет изменения угла поворота лазерного пучка обрабатываемым зеркалом удается получать штриховые картины с расстоянием между штрихами в пределах 7-300 мкм при практически постоянной ширине штриха, при этом угол поворота зеркала устанавливается из следующего соотношения:
α 2 arcsin(2d/ λ_o), где d расстояние между выжигаемыми штрихами шкалы;
λ_o длина волны лазерного излучения.

Изобретение относится к лазерной технологии, а именно к способам нанесения штрихов на поверхность шкалы. Цель изобретения - расширение диапазона расстояний между наносимыми штрихами. Способ включает размещение шкалы в резонаторе лазера и выжигание штрихов в местах максимальной плотности мощности интерферирующего потока. Для достижения цели обрабатываемую шкалу помещают на место поворотного зеркала резонатора лазера, а расстояние между выжигаемыми штрихами устанавливают путем поворота зеркала. 1 ил.

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ШТРИХОВ НА ЗЕРКАЛЬНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ШКАЛЫ, включающий размещение этой шкалы в резонаторе лазера, формирование интерференционной картины на зеркальной поверхности шкалы и импульсное выжигание штрихов на поверхности шкалы в местах максимальной плотности мощности интерферирующего потока излучения лазера, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона расстояний между наносимыми штрихами, обрабатываемую шкалу размещают на месте установки поворотного зеркала резонатора лазера, а расстояние между выжигаемыми штрихами устанавливают путем поворота зеркала на угол
α=arcsin(2d/λ_o),
где d расстояние между выжигаемыми штрихами шаклы;
λ_o длина волны лазерного излучения.