Устройство для испытания на адгезию токопроводящих пленок на диэлектрических подложках Советский патент 1991 года по МПК G01N19/04 

28.

СЯ Ю -vj

со со

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в процессе изготовления микроэлектронных схем и оптических элементри. Целью изобретения является повышение точности и производительности испытания и расширение диапазона контролируемых значений адгезии. Устройство содержит источник I напряжения, электростатический зонд 2, соединенный с приводом 3 его осевого перемещения, держатель 4, предназначенный для размещения на нем подложки 5 с пленкой 6, и систему 7 контроля, выполненную в виде измерителя электрической емкости между токопроводящей пленкой 6 и зондом 2. Принцип работы устройства заключается в создании электростатического поля, благодаря которому зонд 2 прижимается к пленке 6. Привод 3 осевого перемещения яонда обеспечивает усилие его отрыва в случае, когда сила прижатия превышает адгезию пленки 6 с подложкой 5. 1 ил. & (Л

4

7

3I /931d

,Ч К. П 1 ( ,) К 1H К ЧК ГШЦС НИ

t,P

i ш f i i if ,it ) H( чшс инметж er- осги в

ч iifhiuix L,, , и v щи ,, кгм.гр п ною усмроигтва за

i i н, i Голсс KOHKf.iHOг г-т ыио i цпенкн i и диг и .изво-п

i ) i i i с-кочны... Hi по 1капе прибора видуаи ю li ги

f ii 01чччс- MIA элененговать f омент oipbma пленки и сразу

,, ,,п 1}ч- ыгичм1 .же проводить or6paKOBKv негодных пот п { а ,}( ьозпшение точ 101Г П 1J абоч-,х Д( i п я л., без при

i м , ,,0 ih исшм и яPiciii jec- OBbix оьр мцов и приводит

i, Hi; ID in i ut i i нгролируе-к /гь°Р - чю м - ощ г деления

и ии1 м е ии i«.t« эььмт ним проитводи-

nj. i г м i ,га „ -iaгс 1Т ri n

, 1 ic i-101 i во oab M IP i cn -дающим ob«t 0 i И IU Г ) ШИ1

,, tl ir Hv-ьш OHMПР1 iium i або.м ,.1иис.ва аклю ,а

, чr, , , -,rf, нчм j r icTH e- KOic

i i i i , t Ki f ввязаю гея

r i к i f 11 п ff ги ч n a

, , (u ii ( i t i ь т t i po

,,,-,,,J 1 И r IT iK 6л ПрИРОЧ -v

,, n -i. ч , j i bii гнл -1 «OTI ираег у

, ( ri о о r i r щя от ц т о i , тч u

,i i -i T i i i i JHJ e r

, , т ,,Ч 1 I n lj Пи Ч i I)1 t i П 1 l i

) TO JIT Hi ГГ) j lb I r U

T i I T П 1 I ЗОЧД Г v P

,nr ,тI f4 Г I П « И

L

in P-i j т i л - r iipnno eHHH

, i л t ))p r i ipl

i 141К ji ГС 1 ,

L1.

, Hr , , 0 1 rOJ. TpOC 1

i j ji i пир з i ui, я пис нт т, оГ1 ад i t i i rrrr i nn i тгиьаю f i, я с силом Га

JlOf,рО f Оd Ј„ L 2

- ,

ц ±а и i i i i. t1 н i т)

, i hi )1Д1 i u j -i д i ion

I i Ik. ) Ч 11 1 (- i ,

UIJ U ll 44 I Jh iL i gr 1ЧЯ i 4

III Ii l p IH I

и (1 41И 9I :-6o u L ,

r -т IK чин el 1) ,i J ,я y i

i и i i n in р ei H °

4 iuj i ппчч поднимал, В

i i1 f iiiM i iiOiejiЬри i ipiflp ыт jnb i v i ч цло/| и

м I ji ис кптческин TIL up июжсннй н if ки емьость

i i еф рча1шю иг OUTPUT т iора п ондтшенк i оста гея

i I J l i--uiiPM ч (ояыюи Jro прои ходит в случае,

it к;чн ii (.нгроля когда Рад Ј1 Рэс (Род адгезия iei

о ii ни ия,. равныйi н к ir i i м Пщ Р РЭ(- jnr;

1 jjl lC ПО Г I lV , (J l n,MIJ Htij pV-КИ OrpHB-iPTH

it lit тиьх i in нь r ток i i (. вопя цеи r-i м и емкост

l MIS и i i пт itohjtntbrimpripusio a.j

К i Ь i tT IHOBrIL ДОП ГТИМОс

f I -IL , I 1 i (.ЛОП , ) p С 1И Г J ЦОU К Г p I -t ГО i ГИМ1 И , pun 1 ЭР). Lll НЦИ 1 1 МОХ

r i fni ni vo эчнктриче ьл т прочность i

5i62/9

но производить с помощью устройства определение годных и негодных дета леи.

Формула изобретения Устройство дпя испытания на зию токопооводящих пленок на диэлект- рических подложках, содержащее источник напряжения, электростатический зонд, соединенный с источником, дер1- жатель, предназначенный для размеще - ния подложки с покрытием, и систему контроля адгезии, отличаю - щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и производительности

0

5

; и 1 1 пя i j агширенчн ,;uiiiiaiona коктролир емып значении ащ i ии, о n,af 7ie О rij. и ком . OPFOI о переп ц, ния зоилт, посаеднии выполнен и ни металлическиги стержня г нанесиины на его рабочую поверчн ггь vaoi окиста металла, гочщнна, ди пекг1)н чес ая проницаемость и -чце к про ногть которого BbiC)ijiii в ди л.а зонах coo iBt-i с гвенчо oi I I d м ю 10-10 7м( от ( до 10) В/-1 ч от / д 9-I06 Б/м а П стема кон рп н полненс б )-нде пзм.нт-1 IIJKIPH ческой емкости 1окоцрлводящеи пленкой и электрос га1 H4L f чп зондо