УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1964 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

Известны устройства для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов. В этих устройствах датчик выполнен на тороидальном сердечнике с зазором, в который помещается измеряемый образец.

В предложенном устройстве датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на Х-образном ферритовом сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительными и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения. Это дает возможность повысить точность и расширить диапазон измерения.

На чертеже представлена схема, иллюстрирующая предложенное устройство.

Сердечник / выполнен из феррита и, как видно из чертежа, имеет форму двух неполных колец, сложенных в виде X. Общая обмотка 2 датчика 5 питается от отдельного высокочастотного генератора 4, напряжение которого модулируется модулятором 5 низкой частоты. Э. д. с., наведенная в измерительных

6 и компенсационных 7 обмотках, подается через детекторы 8 на электронную схему сравнения 9. Индикатор 10, подключенный через усилитель // к схеме сравнения, будет фиксировать ноль. При внесении в один из зазоров датчика 3 измеряемого образца 12 баланс схемы нарушается и индикатор 10 зафиксирует сигнал, служащий мерой этого сопротивления.

гт«

Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, основанное на использовании наведенных в

образце вихревых токов, отличающееся тем, что, с целью ловыщения точности и расширения диапазона измерения, в нем датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на

Х-образном сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительными и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения.