Устройства для измерения линейных перемещений с получением муаровой картины полос со смещенными фазами, содержащие систему из двух дифракционных решеток, известны. Они содержат две щели, смещенные одна относительно другой на 90° по фазе муаровой полосы. Это в значительной степени снижает светосилу таких устройств.
Предлагаемое устройство отличается тем, что, с целью увеличения светосилы при создании заданного сдвига полосы по , расстояние между двумя центральными штрихами одной из решеток изменяется по сравнению с расстоянием между остальными щтрихами на заранее рассчитанную величину. Решетка, таким образом, оказывается как бы составленной из двух частей, одна из которых сдвинута относительно другой.
Для получения заданного смещения фаз сигналов при изготовлении решетки расстояние между двумя ее центральными штрихами изменяется на Ad An-8, где А/г - заданная
разность фаз сигналов в долях полного цикла; 8 - относительное смещение решеток в направлении измерения, необходимое для перемещения муаровой картины на одну полосу.
Световой поток, прошедший через две половины решетки, можно направлять на отдельные фотоприемники.
Предмет изобретения
Устройство для измерения линейныд перемещений с получением муаровой картины полос со смещенными фазами, содержащее систему из двух дифракционных решеток, отличающееся тем, что в нем, с целью увеличения светосилы при создании заданного сдвига полосы по фазе, расстояние между двумя центральными штрихами одной из рещеток отличается от расстояний между остальными штрихами на заранее рассчитанную величину.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК С ПЕРЕМЕННЫМ ШАГОМ | 1970 |
|
SU269528A1 |
Способ записи метрологических голографических решеток | 1986 |
|
SU1327037A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СИНТЕЗА ДЛИННЫХ ГОЛОГРАФИЧЕСКИХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК | 1982 |
|
RU1052095C |
ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1973 |
|
SU389399A1 |
ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 2013 |
|
RU2534378C1 |
Устройство для измерения относительных перемещений двух объектов | 1984 |
|
SU1450761A3 |
Фотоэлектрический преобразователь перемещения | 1989 |
|
SU1651167A1 |
Устройство для фазированного соединения дифракционных голографических решеток | 1977 |
|
SU673018A1 |
СПОСОБ ОРИЕНТИРОВАНИЯ ЗАГОТОВКИ НА РАБОЧЕЙ ПОЗИЦИИ ПРИ НАРЕЗАНИИ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ | 1991 |
|
RU2038939C1 |
СПОСОБ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СИСТЕМА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2002 |
|
RU2263279C2 |
Авторы
Даты
1964-01-01—Публикация