ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ плоских ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1964 года по МПК G01B11/30 G01B9/02 G02B23/04 

Приборы для контроля плоских оптических поверхностей посредством многолучевой интерференции известны. В них наблюдается изменение освещенности в центре интерференционной системы колец.

Предлагаемый прибор отличается тем, что, с целью повышения точности контроля путем нзмерения изменения диаметра интерференционных колец, в нем система наблюдения БЫцолнепа по схеме оптического дальномера с комцепсацией, например, оптическим клином.

Прибор для контроля плоских оптических новерхностей основан на точном измерении углового диаметра внутреннего кольца интерференционной системы колец, образуемых при освещении протяженным источником монохроматического света проверяемых поверхностей, покрытых светоделительными слоями с высоким коэффициентом отражения и установленных параллельно одна другой.

На фиг. 1 изображен один из вариантов оптической схемы предлагаемого прибора; на фиг. 2 - другой вариант оптической схемы прибора.

Свет от протяженного монохроматического источника /, помещенного в фокальную плоскость объектива 2 коллимато-ра, освещает контролируемую и эталонную детали 3, собранные в виде эталона Фабри-Перо с точным промежуточным кольцом 4. В фокальной плоскости объектива 5, совпадающей с диафрагмой 6, образуется интерференционная система колец. Коллиматор 7 обеспечивает телецентрический ход лучей. Свет от правой и левой частей интерференционной системы колец идет вначале различными путями (ромбические призмы 8, измерительные клинья Я объективы 10), затем изображения правой и левой частей интерференционной системы колец при помощи зеркал // и светоделительной пластинки

0 12 совмещаются в фокальной плоскости окуляра 13. При перемещении диафрагмы 14 изменения в нромежутке между пластинками, вызываемые ощибками изготовления или не5параллельиостью пластинок, приводят к расхождению правой и левой частей интер(Ьеренционного кольца. Перемещением одного из измерительных клиньев части внутреннего кольца совмещаются. По величине перемещения

0 клина определяют изменение диаметра внутреннего интерференционного кольца и соответствующее ему изменение промежутка между проверяемыми пластинками.

Прибор позволяет также измерять изменение интерференциопных колец, используя стереоскопический эффект, при этом противоположные части внутреннего интерференционного кольца изображаются в плоскости сеток 15. Сетки имеют вид узкого прямоугольного окошка со щтрихом в центре и могут перемещаться вдоль длинной стороны окошка, причем величина перемещения отсчитывается пи микрометренному винту. При наблюдении через окуляры 16 в поле зрения в окошках сеток видны противоположные части внутреннего интерференционного кольца. Совмещение штриха сеток и интерференционного кольца по глубине при наблюдении через окуляры осуществляе-1ся перемещением сеток.

Предмет изобретения

Прибор для контроля плоских оптических поверхностей посредством многолучевой интерференции, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля лутем измерения диаметра интерференционных колец, в нем система наблюдения выполнена по схеме оптического дальномера с компенсацией, например, оптическим клином.

/

Фиг.1

/5х П1

Фиг 2