ВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ ПЕЧЬ Советский патент 1964 года по МПК H05H1/46 

Известны высокочастотные плазменные печи, содержащие газоразрядную камеру с охлаждаемой кварцевой оболочкой и индуктор. Проблема практического использования плазмы, в том числе и высокочастотной, неразрывно связана с вопросами термозащнты стенок разрядных камер. Существующие способы термозащиты стенок разрядных камер, основанные на использовании жидких или газовых струй, приводят к конструктивным трудностям и в ряде случаев не обеспечивают устойчивого горения высокочастотных разрядов при больших мощностях.

В предлагаемой печи на внутренней поверхности кварцевой оболочки установлены металлические водоохлаждаемые профилированные трубки, которые образуют продольные щели, параллельные оси индуктора. Это обеспечивает более устойчивое горение высокочастотного разряда прн повыщенных мощностях за счет проникновения высокочастотной энергии в газоразрядную камеру.

На чертеже изображена схема печи.

Печь содержит газоразрядную камеру / с охлаждаемой кварцевой оболочкой 2 и индуктор 5. На внутренней поверхности кварцевой оболочки установлены металлические водоохлаждаемые профилированные трубки 4, которые образуют продольные щели, параллельные оси индуктора 5.

Предмет изобретен и я

Высокочастотная плазменная печь, содержащая газоразрядную камеру с-охлаждаемой кварцевой оболочкой и индуктор, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения более устойчивого горения высокочастотного разряда при повышенных мощностях за счет проникновения высокочастотной энергии в газоразрядную камеру, на внутренней поверхност -;

кварцевой оболочки установлены металлические водоохлаждаемые профилированные трубки, которые образуют продольные щели, параллельные оси индуктора.