Способ определения параметров шероховатости зеркальной поверхности Советский патент 1991 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля чистоты обработки высокоотражающих металлических поверхностей изделий, не имеющих регулярной составляющей шероховатости. Целью изобретения является повышение производительности определения среднеквадратичного отклонения и периода корреляции высот неровностей, являющихся параметрами шероховатости. Способ определения параметров шероховатости зеркальной поверхности заключается в том, что освещают исследуемую поверхность параллельным монохроматическим световым пучком под острым углом Θ₀ к ее нормали, измеряют интенсивности световых потоков, отраженных исследуемой поверхностью, и по отношениям этих интенсивностей к интенсивности зеркального отражения судят о среднеквадратичном отклонении и периоде корреляции высот неровностей. Измерение интенсивностей I₁ и I₂ световых потоков, отраженных исследуемой поверхностью 12, производят одновременно в интервалах углов соответственно Θ₁ - Θ₀ ≤ φ_I ≤ Θ₂ - Θ₀ и 0 ≤ φ_J ≤ Θ₃ - Θ₀ к направлению зеркального отражения при Θ₃ ≥Θ₂ и J ≠ I. Интенсивность зеркального отражения определяют как сумму I₂ +I₂. Об искомых параметрах шероховатости судят по отношениям интенсивностей I₁ / (I₁ +I₂) и I₂/I₁, где I, J - целочисленные значения, равные 0, 1, 2, 3 ... . 1 ил.