Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик магнитных пленок Советский патент 1991 года по МПК G01R33/05 

Изобретение относится к области электроизмерений и может быть использовано в электронной и радиотехнической промышленности для неразрушающего контроля основных параметров магнитных пленок, используемых для производства запоминающих устройств вычислительной техники.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей устройства за счет одновременного измерения как эффективного поля анизотропии, так и гиромагнитного отношения с использованием одного резонатора.

Цель изобретения достигается тем, что в устройстве цилиндрический СВЧ-реэока- тор, помещаемый во внешнее магнитное поле так, что ось цилиндра совпадает с направлением поля электромагнита, выполнен составным из цилиндрического корпуса, кассеты для подложки и двух сменных кассет для образца, являющихся съемными торцовыми стенками резонатора, скрепляемыми с корпусом резонатора по направляющим, при этом длины сменных кассет И и 2 определяются из условия возникновения ФМР на рабочих частотах.

Устройство за счет использования сменных кассет разной длины позволяет осуществить регистрацию ферромагнитного резонанса на двух частотах с последующим расчетом эффективного поля анизотропии На эфф и гиромагнитного отношения у по формулам

ц Hif2-H2fi

Н а эффf2 fl

о

Os

сь ю о

.. fa-ft

H2-Hi где fi, fa - частота СВЧ;

Hi, Нз - величина полей ФМР на частотах соответственно fi и fa.

На фиг. 1, 3 представлена конструктивная схема предлагаемого устройства; на фиг. 2.4- конструкция кассеты.

Устройство содержит цилиндрический резонатор 1, размещенный между полюса- ми 2 источника постоянного магнитного поля так, что ось цилиндра совпадает с направлением постоянного магнитного поля. Резонатор 1 состоит из цилиндрического корпуса 3, к которому по направляющим 4 с одной стороны устанавливается кассета 5 для подложки, а с другой - поочередно две кассеты 6 для образца, являющиеся одновременно его торцовыми стенками.

На фиг. 2 представлена конструкция кассеты 6, внутри которой выполнен паз 7 для образца, содержащая основание 8 :и крышку 9, скрепленные между собой винтами 10. Конструкция данной кассеты обеспечивает локальность измерений через отверстие 11 основания. Основание кассеты 8 является рабочей частью резонатора 1. Длина I основания меняется в зависимости от рабочих частот.

Устройство работает следующим обра- зом.

В кассету 5 для подложки помещают подложку и устанавливают с одного торца резонатора 1. В кассету 6 для образца с h помещают исследуемую магнитную пленку

на подложке, и кассету скрепляют с корпусом резонатора 3 по направляющим 4 с другого торца.

Проводят регистрацию спектра ферромагнитного резонанса на одной частоте fi. Вынимают кассету 6 для образца с и на ее место устанавливают кассету 6 для того же образца с 12 и снова проводят измерения на частоте fa.

Меняя длину резонатора сменной кассетой для образца, можно регистрировать спектры ферромагнитного резонанса на двух частотах и определить эффективное поле анизотропии и гиромагнитное отношение одним резонатором.

Формула изобретения Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик магнитных пленок, содержащее источник постоянного магнитного поля и СВЧ-резо- натор цилиндрической формы с продольной осью, совпадающей с направлением магнитного поля источника постоянного магнитного поля, и установленные в пазы на противоположных торцах цилиндра подложку и пленку на подложке, отличающееся тем. что, с целью расширения Функциональных возможностей устройства за счет измерения эффективного поля магнитной анизотропии и гиромагнитного отношения, резонатор снабжен съемной кассетой для подложки и двумя съемными кассетами для магнитной пленки с подложкой, установленными в пазы корпуса.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля параметров магнитных пленок. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства за счет возможности измерения гиромагнитного отношения и величины поля анизотропии с помощью одного резонатора. Устройство содержит СВЧ-резонатор цилиндрической формы, источник постоянного магнитного поля, причем ось цилиндрического резонатора совпадает с направлением магнитного поля, кассету для размещения подложки и кассеты для размещения магнитной пленки. Толщина кассет для пленки выбирается из условий получения ферромагнитного резонанса на заданной частоте. Применяя две кассеты с различной толщиной можно определить гиромагнитное отношение и величину поля анизотропии пленки. 2 ил.

/

8№1

,7

to

о