Известны источники газоразрядной плазмы непрерывного действия, состоящие из герметичной керамической трубы,помещенной в неоднородное магнитное поле. Внутри трубы расположена разрядная камера, содержащая анод и катод прямого накала и систему вспомогательных электродов.
Описываемый источник газоразрядной плазмы отличается от известных тем, что на выходе его расположена ионизационная камера, корпус которой через переключатели подключен к аноду и в которой имеется отверстие для подачи рабочего газа.
Такое выполнение устройства позволяет увеличить степень ионизации газа и скорость плазменной струи источника.
На чертеже схематически изображено описываемое устройство. Устройство содержит анод / и катод 2 прямого наклона, вспомогательный электрод 3. Ионизационая камера 4 расположена на выходе источника и корпус ее
через переключатель подключен к аноду. Через отверстие 5 подается рабочий газ. Все элементы заключены в кварцевую оболочку 6, которую помещают между электромагнитами 7.
Предмет изобретения
Источник газоразрядной плазмы непрерывного действия, состоящий из герметичной керамической трубы, помещенной в неоднородное магнитное поле, внутри которой расположена разрядная камера, содержащая анод и катод прямого накала и систему вспомогательных электродов, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени ионизации газа и скорости плазменной струи источника, в нем на выходе расположена ионизационная камера, корпус которой через переключатель подключен к аноду и в которой имеется напускное отверстие для подачи рабочего газа.
