Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков Советский патент 1991 года по МПК G01R27/26 

1

(21)4700917/09 (22) 05.06.89 (46)23.08.91. Бюл. №31

(71)Институт прикладной физики АН БССР

(72)С.А.Тиханович (53)621.317.39(088.8)

(56)Аззам Р., Башара Н Эллипсометрия и поляризационный свет. - М.: Мир, 1981, с. 381.

Брандт А.А. Исследование диэлектриков на сверхвысоких частотах - Госиздат физ-мат. лит-ры, 1963, с. 303.

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ЛИСТОВЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ

(57)Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика. Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков заключается в том. что контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. С помощью приемных антенн 5 и б принимают отраженную и прошедшую электромагнитные волны и измерительными блоками 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженного и прошедшего излучений. В блоке 9 обработки, выполненном на основе вычислительного управляющего устройства, осуществляют расчет диэлектрической проницаемости. Способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения, 1 ил.

СО

с

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика. Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков заключается в том, что контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. С помощью приемных антенн 5 и 6 принимают отраженную и прошедшую электромагнитные волны и измерительными блоками 7, 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженного и прошедшего излучений. В блоке 9 обработки, выполненном на основе вычислительного управляющего устройства, осуществляют расчет диэлектрической проницаемости. Способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения относительной диэлектрической проницаемости диэлектриков в авиационной и радиотехнической промышленности.

Цель изобретения - повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика.

На чертеже приведена структурная электрическая схема устройства, реализующего способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков.

Устройство содержит генератор 1 электромагнитного излучения, поляризатор 2,

излучающую антенну 3, контролируемый диелектрик 4, первую 5 и вторую 6 приемные антенны,блоки 7 и 8 измерения эллип- сометрических параметров отраженной и прошедшей электромагнитных волн и блок 9 обработки.

Способ реализуется следующим образом.

Контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. После взаимодействия с контролируемым диэлектриком

4принимают с помощью приемных антенн

5и 6 отраженную и прошедшую электромаго VI

ю

GJ 00 СА

нитные волны и с помощью измерительных блоков 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отрэженногоои прошедшего излучений. Полученные значения эллипсомет- рических углов отраженной и прошедшей волн поступают на первый и второй

Ј-

№

где 1/Ьтр,Аотр,,Апр- эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн соответственно.

Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения.

Формула изобретения Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков, включающий облучение контролируемого

44V

I ,

О р

,ib

р

, ,в,е 4 Р

j, Ml

где тДпр.ЛотрДДфЛтр- эллипсометрические(ро - угол падения электромагнитной

параметры отраженной и прошедшей элек- 35 волны на контролируемый диэлектрик, тромагнитных волн;I

входы блока 9 обработки соответственно, выполненного на основе вычислительного управляющего устройства, в котором в соответствии с алгоритмом осуществляется расчет диэлектрической проницаемости

,J°«P

диэлектрика линейно-поляризованной волной под углом к его поверхности, прием

отраженной и прошедшей через контролируемый диэлектрик электромагнитных волн и измерение их параметров, по которым определяют диэлектрическую проницаемость, отличающийся тем, что, с целью

повышения точности измерений за счет исключения влияния на результат измерения толщины контролируемого диэлектрика, измеряют эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн, а диэлектрическую проницаемость определяют в соответствии со следующим выражением:

.1.

.„

111