Емкостный датчик давления Советский патент 1991 года по МПК G01L9/12 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления высокотемпературных газовых сред. Цель изобретения - улучше. ние технологичности изготовления. Измеряемое давление воздействует на мембрану 2, вызывая перемещение центрального электрода 8 измерительного конденсатора. Второй электрод 13 размещен на пластине 3. На этой же пластине размещен второй кольцевой электрод 12 эталонного конденсатора, первый электрод которого размещен на корпусе 1. По величине емкостей этих конденсаторов судят о давлении измеряемой среды. Вторые электроды 13 и 12 конденсаторов для улучшения технологичности выполнены за одно целое с пластиной 3 и разделены между собой кольцевой проточкой 10, что уменьшает краевой эффект и взаимовлияние конденсаторов. 1 ил.