Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка Советский патент 1991 года по МПК C09K11/56 

Изобретение относится к технологии люминофоров, а именно к способу вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка, используемого в тонкопленочных электролюминесцент- ньгх индикаторах переменного тока.

Целью изобретения является повышение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублимат- фосфора.

Способ осуществляют следующим образом.

Пример. Готовят подложку с то- копров одящим прозрачным в видимой час,ти спектра покрытием из оксида олова. Затем проводят Фотолитографию по слою оксида олова с целью формирования прозрачных электродов требуемой конфигурации. После этого подложку совмещают с биметаллическим трафаретом и закрепляют в подложкодержатель вакуумной установки, после чего откачивают рабочий объем установки до давления 1,3 0 Па и нагревают подложку до 150°С.

SS. осаждают не. подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора пгч электрокно-луче

О О

о

4.

вом нагреве исходного материала. Режимы испарения: удельная мощность в испарителе 800-900 Вт/см2, скорость осаждения слоя 20-10 нм/мин; температура подложки 150°С. Толщина полученного слоя 300 нм.

Далее, не производя развакуумирова- ния рабочего объёма, осуществляют замену тигля с диэлектрическим материа- л0м в испарителе на тигель с сублимат фосфором ZriSiffri (1,5 мас.%4). Панесе сублкмат-фосшора на подложку проводят также посредством электроннолучевого испарения в вакууме при еле- д.ующпх режимах: удельная мощность в Испарителе i50-200 Вт/см25 скорость осаждения 30-40 пм/мин; температура подложки . Толщина полученного Слоя 600 нм.

После нанесения слоя люминосЬора подложку охлаждают до 150°С и после Замены тигля с сублимат-фоссЬором на тигель с твердым раствором ,, О3 осаждают второй диэлектрический слой, гтялогичный первому.

Затем извлекают подложку из вакуумной камеры, совмещают с трасЬаретом дня осаждения противоэиектродов. Про- тивоэлектрчды наносят в вакуумной ус

тановке путем испарения алюминия марки А 99.

После этого активную часть сформированного таким образом электролюми- несцентного индикатора герметизируют стеклянной пластинкой с помощью герметика на основе эпоксидной смолы и ими- дозола.

1. Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка, активированного фторидом металла, в тонкопленочном злектролгоминесцент- ном индикаторе переменного тока путем изменения частоты возбуждающего переменного напряжения, отличаю- щ и и с я тем, что, с целью повышения срока службы индикатора и расшире ния цветового тона излучения, используют сульфид цинка, активированный фторидом марганца в количестве 0,5- 2,0 мас.%, и располагают его между двумя диэлектрическими слоями из твердого раствора оксидов гасЬния и ит

После герметизации с помощью контактной рамки к электродам индикатора ддтрия.

подключают синусоидальное возбуждаю-2. Способ по и. 1, о т л и ч а ющее напряжение амплитудой 150-250 Вщ и и с я тем, что частоту переот генератора типа ГЗ-ЮЧ с повышаю-манного напряжения в процессе возбужщнм трансформатором,дения изменяют от 50 Гц до 15 кГц.

0

5

0

5

При изменении частоты синусо 1да.ль- ного напряжения возбуждения от 50 Гд до 15 кГц визуально наблюдают изменение цвета свечения индикатора от красного до желтого. При этом диапазон изменения цветового тона составляет 591- 620 нм, в то время как для сублимат- фосфора в электролюминесцентном индикаторе по известному способу он составляет 562-588 нм. Кроме того, способ вариации цветом свечения сублимат- фосфора по изобретению позволяет повысить срок службы индикатора с 132 ч для известного способа до 250 ч за счет отсутствия барьерного слоя. В таблице представпены данные по диапазону изменения цветового тона индикаторов, полученных на основе сублимат-фосфора по изобретению при различных составах люминофора и режимах возбуждения его свечения.

Формула изобретения

1. Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка, активированного фторидом металла, в тонкопленочном злектролгоминесцент- ном индикаторе переменного тока путем изменения частоты возбуждающего переменного напряжения, отличаю- щ и и с я тем, что, с целью повышения срока службы индикатора и расширения цветового тона излучения, используют сульфид цинка, активированный фторидом марганца в количестве 0,5- 2,0 мас.%, и располагают его между двумя диэлектрическими слоями из твердого раствора оксидов гасЬния и итдтрия.

17000476

Продопженне г-чРлицы

Изобретение относится к технологии сублимат-фосфоров на основе сульфида цинка, используемых в тонкопленочных электролюминесцентных индикаторах переменного тока (ТЛЭЛИ). Цель - увеличение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублимат-фосфора. Готовят подложку из утекла с покрытием из оксида оловаэ прошедшего фотолитографию для форми- ровання прозрачных электродов ТЛЭЛИ требуемой конфигурации. Осаждают на подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора ,, затем проводят осаждение сублимат-фосЛо- ра из сульфида цинка, активированного фторидом марганца в пределах 0,5- 2,0 мас.%, после чего осаждают второй диэлектрический слой из того же материала. Далее Нормируют алюминиевый контакт. При изменении частоты приложенного напряжения от 50 Гц до 15 кГц наблюдают изменение цвета свечения ТПЭЛИ от красного до желтого в пределах длин волн 585-644 нм. Срок службы индикатора, характеризуемый временем, за которое яркост инди- катора падает до уровня 50% от начального значения, составляет около 250 ч, в то время как для прототипа ч. 1 з.п. ф-лы, t габл. (Л