СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИАФРАГМЫ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ Советский патент 1965 года по МПК H01J9/02 H01J29/46 

Для обеспечения высокой разрешающей способности электроннолучевой трубки при заданном значении плотности тока в электронном луче необходимо диафрагму с весьма малым отверстием установить в электроннооптической системе с большой точностью.

Современные методы механической сборки электронно-оптических систем не позволяют по.пучать требуемых точностей; кроме того, «электрическая соосность системы может быть не обеспечена при механической соосности отверстий входящих в нее диафрагм. В этом случае центрирование электронного пучка может быть осуществлено с помощью внешних магнитных полей. Однако это требует сложных отклоняющих устройств, так как отклоненному пучку необходимо вернуть соосность с главной фокусирующей линзой. В результате обычно наблюдается снижение разрешающей способности.

Для точной юстировки триодной части электронно-оптической системы и обеспечения высокой разрешающей способности предлагается отверстие в электронно-оптической системе «просверливать самим электронным пучком в готовой трубке при повышенных, по сравнению с рабочими, напряжениях, соотношение между которыми сохраняется постоянным. В этом случае траектории электронов луча в оптической системе при «просверливаНИИ совпадают с траекториями в рабочем режиме. Получаемое отверстие будет с высокой точностью центрировано с электронным лучом. Режим «сверления выбирается таким, чтобы отверстия получались несколько меньшими, чем необходимо, а нужный диаметр отверстия достигается последующим досверливанием.

Предложенный способ позволяет получать отверстия правильной формы диаметром менее 10 мк. Для предотвращения снижения эффективности катода при испарении металла диафрагмы ее изготовляют из материала, не оказывающего вредного воздействия на катод, например из палладия. При применении оксидного катода можно производить замену катода после получения отверстия, так как небольшие изменения положения катода практически не сказываются на положении электронного пучка.

Предмет изобретения

Способ изготовления диафрагмы электронно-оптической системы путем «просверливания в вакууме электронным лучом мембраны, расположенной в плоскости кроссовера или вблизи от нее, отличающийся тем, что, с целью точной юстировки триодной части электронно-оптической системы и обеспечения высокой разрешающей способности, «просверли3вакие производят в собранном электроннолучевом приборе, при этом на электроды подают напряжения, превышающие соответствуюш:ие напряжения в рабочем режиме, а со4отношения между напряжениями на электродах при «просверливании устанавливают такими же, как в рабочем режиме электроннооптической системы.