Способ определения шероховатости поверхности детали Советский патент 1991 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для определения шероховатости поверхности детали из прозрачного материала. Цель изобретения - повышение чувст- вительност) и точности определения шероховатости поверхности детали из прозрачного материала за счет отсутствия наложения зеркальной и диффузной компонент, отсутствия влияния отражения от других поверхностей исследуемой детали из прозрачного материала, а также отсутствия влияния точности изготовления эталона на результаты измерения. Освещают световым потоком от источника 1 когерентного монохроматического излучения на поверхность исследуемой детали 15 со стороны среды с большим показателем преломления и под углом, величина которого не меньше критического значения для данного материала детали. Регистрируют величину сигнала, пропорциональную интенсивности г рассеянного излучения, прошедшего контролируемую поверхность за счет нарушения полного внутреннего отражения, и величину сигнала, пропорциональную интенсивности 0 падающего излучения. Среднеквадратичную шероховатость о определяют по формуле j 0r :lo)2 : 4 JTCOS v, где А - длина волны когерентного источника; v - угол падения излучения на контролируемую поверхность. 1 ил. Ё VJ О го V4 Ю