Энергомасс-анализатор Советский патент 1992 года по МПК H01J49/36 

Изобретение относится к области физического приборостроения и касается нанесениязащитных покрытий исннз-пг ззменным методом, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей. Поставленная цель достигается тем, что мэсс-анелизатор 1 выполнен с возможностью поворота его на 180° относительно оси, проходящей через точку перегиба траектории движения ионов в двойном цилиндрическом энергоанализаторе 6, и парамасляной оси входной диафрагмы 7, а энергсанэлизатор 6 снабжен узлом перемещения с возможностью его отвода при проведении прямого масс-знали- за. При исследовании нейтральных частиц ионизатор 5 масс-спектрометра включен согласно технического описания. Для анализа заряженных частиц плазмы катоды ионизатора отключают. Энергомасс-анализ проводят после разворота анализаторов на 180° от первоначального положения и после подвода энергоанализатора, при этом вход энергоакализэтора совмещается с осью исследуемого пучка. Основные конструктивные параметры энерго анализаторё связаны определенным соотношением. 1 ил. И