Голографический способ определения рельефа поверхности Советский патент 1992 года по МПК G01B11/04 G01B9/23 

сти фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму: во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, объект освещают m пучками, равноотстоящими по углу на величину Л а, удовлетворяющую условию 2 tgg пп Способ реализуют следующими обраРегистрация контурной карты объекта осуществляется по схеме во встречных пучках. Опорный пучок представляет собой коллимированный лазерный свет, падающий на голографическую пластинку под малым углом а к нормали ее плоскости. Выполняется первая экспозиция. Перед второй и последующими экспозициями объект и пластинку поворачивают вместе на угол Д а. После регистрации голографических изображений на одну пластинку ее проявляют. В результате многолучевой интерференции на восстановленном иЗ;Ображении образуются контурные полосы. Вместо поворота объекта и пластинки можно поворачивать соответствующим образом освещающий пучок, либо освещать объект через пластинку одновременно m коллимированными пучками когерентного излучения, равноотстоящи1у1и по углу на величину Да, удовлетворяющую условию 2tg.Q: m Глубинный интервал между контурными полосами при угле наблюдения/ определяется выражением дЯ COS/ Да Sin (а-у ) В проведенном эксперименте в качестве источника используют гелий-неоновый лазер (А 0,6328 мкм). Объектом служит воздущный клин между голографической пластинкой и металлической плоскостью. Угол падения пучка на пластинку составляет а 0,0863 рад, угол поворота Д а 2, рад, а угол наблюдения /3 0,785 рад. При этом глубинный интервал составляет 228 мкм. Формула изобретения Голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к плоскости фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения положения центров интерференционных полос, объект освещают m пучками, равноотстоящими по углу на величину Да, удовлетворяющую соотношению 2 tga m

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано при бесконтактном контролерельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости гологра- фическими методами. Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос. Для этого освещают объект через фотопластину m коллимированными пучками когерентного излунения, равноотстоящими по углу на величину До:, удовлетворяющую соотношению Да « 2 tg a/m. Записывают на фотопластинке голограмму во встречных пучках, восстанавливают ее и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.елСИзобретение относится к области метрологии и может найти применение при бесконтактном контроле рельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими способами.Известен голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что производят боковое освещение коллимированными пучками когерентного излучения, повернутыми друг относительно друга на угол Да, записывают голограмму в наклонных пучках, ре'гистри- рую'т интерференционную картину, по которой определяют рельеф пхэверхности.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является голографиче- ский способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к поверхности фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.Однако известный способ обладает невысокой точностью.Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос.Указанная цель достигается тем, что согласно голографическому способу, определения рельефа поверхности, заключающемуся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками .когерентного излучения, ориентированны- 1У1И под малыми углами «к нормали к плоско-Ь.CJелhO^