| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ компенсации температурного дрейфа нуля интегрального кремниевого тензомоста | 1989 |
|
SU1647235A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ | 2007 |
|
RU2343589C1 |
| ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ | 2005 |
|
RU2284074C1 |
| ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ | 2005 |
|
RU2293955C1 |
| ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ПЕРВИЧНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ С КОМПЕНСАЦИЕЙ ДРЕЙФА НУЛЯ И МЕМБРАНА ДЛЯ НЕГО | 2004 |
|
RU2286555C2 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННО-РЫЧАЖНОГО ДАТЧИКА СИЛЫ | 2022 |
|
RU2797134C1 |
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1978 |
|
SU934257A1 |
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1978 |
|
SU934258A1 |
| Способ изготовления тензопреобразователя | 1983 |
|
SU1232968A1 |
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1987 |
|
SU1451566A1 |
Изобретение относится к полупроводниковым тензопреобразователям и позволяет повысить точность за счет уменьшения температурной погрешности и повысить стабильность выходного сигнала. Тензопре- образователь содержит сапфировую подло- ку 1, жестко соединенную с металлической мембраной 3, выточенной заодно с корпусом 4. На поверхности сапфировой подложки 1 у контура мембраны расположены кремниевые тензорезисторы 5, ориентированные параллельно и перпендикулярно радиусу мембраны. Тензорезисторы 5 находятся на расстоянии от края сапфировой подложки 1 не менее 10 толщин подложки. С помощью токопроводящих дорожек тензорезисторы 5 соединены в тензомост. Контактные площадки обеспечивают подключение тензомоста к источнику питания и регистрацию напряжения разбаланса тензомоста при изменении давления.5 ил.
cpus.i
cpus.Z
7
Фиг. 5
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1978 |
|
SU934257A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1986 |
|
SU1404850A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
