МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС^ ВСЕСОЮгНАЯ .^ПАтгнт;;д-<^г.| Т?;а'Л'.г— Iiil'lSA. Советский патент 1965 года по МПК F04F9/06 

Известны многоступенчатые высоковакуумпые диффузионные насосы, содержащие корпус с охлаждающей рубащкой, последовательно установленные на его высоте распределительные сопла, испаритель рабочего вещества и улавливатель конденсируемых паров, выполненный в виде кольцевой ванночки. В предлагаемом насосе каждая ступень снабжена самостоятельным испарителем и улавливателем конденсируемых наров (гидрозатвором), герметично отделяющим (по рабочему веществу) одну ступень от соседней с более высоким давлением. Такое выполнение насоса позволяет улучщить предельный вакуум. На фиг. 1 изображен двухступенчатый насос со ступенчатым расположением испарителей по высоте, продольный разрез; па фиг. 2 - то же, с размещением испарителей на одном уровне. Насос содержит корпус 1, нижняя часть которого снабжена охлаждающей рубащкой 2, а верхняя-охлаждающим змеевиком 3. Между витками змеевика размещены витки нагревателя 4 так, что в зависимости от условий работы верхияя часть корпуса может охлаждаться или нагреваться. Насос при помощи фланца 5 присоединяется к откачиваемому объему, а через патрубок 6 - к форвак умному насосу. По высоте корпуса последовательпо установлены раснределительные сопла 7 и 8. Каждая ступень насоса сиабжена самостоятельным испарителем 9 и 10 рабочего вещества (ртути). Ртуть в испарителях подогревается от электрических нагревателей // и 12. Насос, изображенный на фиг. 2, имеет один общий электроиагреватель Л для обеих ступеней. Ступени герметично отделены (по рабочему веществу) одна от другой при помощи улавливателя 13 конденсируемых паров, выполненного в виде кольцевой ванночки. Пары ртути, выходя из сопла 7, увлекают за собой газ из откачиваемого объема и конденсируются на стенках корпуса, которые охлаждаются змеевиком 3. Направляющий конус 14 препятствует тому, чтобы пар из этой ступен попадал в соседнюю с более высоким давлением. Конденсат собирается в улавливателе и по трубкам 15 перетекает в испаритель 9. При этом конденсат не пропускает высокого давления, имеющегося на ступени сопла 8. Молекулы газа через отверстие 16 попадают в ступень с более высоким давлением и увлекаются паром, выходящим из распределительного сопла 8. Пар конденсируется на стенках корпуса, охлаждаемых рубащкой 2, и стекает в испаритель 10. Газ через патрубок 6 отсасывается форвакуумиым насосом.

Наличие в каждой ступеии насоса самостоятельного контура циркуляции рабочего веш,ества цозволяет улучшить цредельный вакуум в откачиваемом объеме.

Предмет изобретения

Миогоступенчатый высоковакуумцый диффузионный насос, содержащий корпус с охлаждающей рубашкой, последовательно установленные по его высоте распределительные

сопла, испаритель рабочего вещества и улавливатель конденсируемых иаров, вынолнеипый в виде кольцевой ванночки, отличающийся тем, что, с целью улучшения предельного вакуума, каждая ступень насоса снабжена самостоятельным испарителем и улавливателем конденсируемых наров (гидрозатвором), герметично отделяющим (но рабочему веществу) одну ступень от соседней с более высоким

давлением.

Фи--.

9иг.2