Полупроводниковый тензопреобразователь Советский патент 1992 года по МПК G01L1/22 

Описание патента на изобретение SU1740997A1

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области измерений неэлектрических величин, и может быть использовано, например, при конструировании полупроводниковых датчиков давления.

Известны преобразователи, содержащие тензорезисторы, включенные в четыре плеча мостовой схемы, источник питания, выходные клеммы, а также резистор калибровки с известным сопротивлением, включаемый параллельно одному из плеч моста. Сигнал на выходе мостовой схемы при включении калибровочного сопротивления сравнивается с сигналом, возникающим при воздействии измеряемого физического параметра, например давления. В результате определяется чувствительность тензопре- образователя к физическому параметру, которая используется при дешифровке измеряемого процесса.

Недостатком этой схемы калибровки является невозможность ее использования при действии измеряемого физического параметра. Его действие вызывает измерение сопротивлений плеч мостовой схемы на неизвестную величину, В результате при подключении калибровочного резистора выходной сигнал калибровки не будет соответствовать первоначально определенному и использование его будет приводить к погрешности.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для шунтовой калибровки полупроводниковых нагружаемых измерительных мостов, содержащее мостовую схему, в которую в смежные плечи вклюVJ

4 О ЧЭ Ю V4

чены два полупроводниковых тензорези- стора, воспринимающие воздействие измеряемого параметра, в два других плеча включены термонезависимые резисторы, параллельно одному из них включается резистор калибровки. Схема питается от источника напряжения, выходной сигнал измеряется соответствующим вольтметром.

Недостатками известного устройства являются пониженная чувствительность тензопреобразователя к физическому воздействию вследствие использования только двух активных плеч моста, а также невозможность использования калибровки при одновременном воздействии физического параметра на полупроводниковые тензоре- зисторы. Это объясняется тем, что очень трудно обеспечить равенство как температурных, так и деформационных характеристик тензорезисторов. В результате уменьшение сопротивления одного тензо- резистора не равно увеличению сопротивления другого тензорезистора, что приводит к изменению калибровочного уровня и погрешности.

Цель изобретения - обеспечение независимости калибровки от измеряемого параметра, повышение точности и достоверности информации.

Поставленная цель достигается тем, что калибровочный резистор выполнен из двух частей - постоянной, соответствующей отсутствию воздействия измеряемого параметра, и переменной, изменяющей свое сопротивление при его действии.

На чертеже схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит мостовую схему из четырех тензорезисторов 1-4, постоянную часть 5 резистора калибровки (Rki) 5, подключаемого с помощью ключа 6 параллельно плечу моста 1, источник 7 и изменяющиеся под действием деформации часть 8 резистора калибровки (Rk2).

В исходном состоянии мостовая схема сбалансирована и на ее выходе отсутствует сигнал. Включение ключа 6 приводит к подключению резисторов калибровки 5 и 8 параллельно плечу 1. В этом случае тензорезисторы 1-4 и изменяемая под действием деформации часть 8 резистора калибровки находятся в первоначальном состоянии и на выходе мостовой схемы появляется калибровочный уровень. Действие измеряемого параметра на тензорезисторы

1-4 приводит к разбалансу мостовой схемы и появлению на выходе сигнала, пропорционального измеряемой величине. Одновременно резистор 8, входящий в цепь калибровки, изменяет (уменьшение) свое

сопротивление на требуемую величину для сохранения постоянства калибровочного уровня Uk.

Необходимая величина переменной части калибровочного резистора (Rk2) 8 определяется соотношением

Rk2 Rki

0,5 E(R +AR) -RU 2 R Uk -E AR

где R - сопротивление плеча моста;

E - напряжение питания моста;

AR - изменение сопротивления плеча моста псд действием измеряемого параметра;

Uk - выходной уровень калибровки.

Формула изобретения

Полупроводниковый тензопреобразователь, содержащий мостовую тензометри- ческую схему и калибровочный резистор, подключенный параллельно одному из плеч мостовой схемы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и достоверности информации путем обеспечения независимости калибровки от измеряемого параметра, калибровочный резистор выполнен из двух частей - постоянной и переменной, величину Rk2 которой определяют из соотношения:

(E-2U)(U,h ,R))JЈR + A R - 2 R U, I 4TJT R (u, R - E /

где R - сопротивление плеч мостовой тензо- 45 метрической схемы;

Е - напряжение питания мостовой схемы;

AR - изменение сопротивления плеча мостовой схемы; 50(Jk - исходный уровень калибровки.

Vge/x о

Похожие патенты SU1740997A1

название год авторы номер документа
Полупроводниковый тензопреобразователь 1983
  • Бережнюк Борис Иванович
  • Митина Анна Ивановна
  • Пивоненков Борис Иванович
  • Замылко Марина Богуславна
SU1138750A1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДАВЛЕНИЯ И ТЕМПЕРАТУРЫ 2015
  • Харин Денис Александрович
  • Разинов Дмитрий Вячеславович
RU2606550C1
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ МОСТ 2000
  • Ялышев А.У.
RU2171473C1
Тензопреобразователь 1988
  • Калашников Николай Семенович
  • Смирнов Андрей Валерьевич
  • Журавлев Семен Николаевич
SU1663456A1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДНЫМ СИГНАЛОМ 2010
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Громков Николай Валентинович
  • Москалёв Сергей Александрович
RU2430342C1
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ БАЛОЧНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 1994
  • Шелепин Н.А.
RU2050033C1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 2005
  • Суханов Владимир Иванович
RU2284074C1
Многоканальный тензопреобразователь 1989
  • Аникьев Иван Илларионович
  • Михайлова Мария Ивановна
  • Списовский Анатолий Семенович
  • Сущенко Евгений Алексеевич
  • Тимофеев Алексей Леонидович
SU1793200A1
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1991
  • Лурье Г.И.
  • Ячук А.Д.
  • Суханов В.И.
  • Кошевой О.П.
RU2017060C1
Устройство для калибровки электрической части системы телеизмерений 1986
  • Коростелев Олег Борисович
SU1450114A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 740 997 A1

Реферат патента 1992 года Полупроводниковый тензопреобразователь

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании полупроводниковых датчиков. Цель изобретения - повышение точности и достоверности информации за счет возможности обеспечения независимости калибровки от измеряемого параметра. Преобразователь содержит мостовую схему из 4 тензорезисторов 1-4 и калибровочный резистор, подключенный параллельно одному из плеч мостовой схемы и выполненный из 2 частей - постоянной части 5 и измеряющейся под действием деформации части 8. 1 ил.

Формула изобретения SU 1 740 997 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1992 года SU1740997A1

Проектирование датчиков для измерения механических величин./ Под ред
Е
П
Осадчего, М.: Машиностроение, 1979
с
Приспособление для автоматической односторонней разгрузки железнодорожных платформ 1921
  • Новкунский И.И.
SU48A1
Патент США № 4414837, кл
Контрольный стрелочный замок 1920
  • Адамский Н.А.
SU71A1

SU 1 740 997 A1

Авторы

Саблин Арнольд Васильевич

Даты

1992-06-15Публикация

1989-10-16Подача