Устройство для измерения электрических параметров поверхностного слоя Советский патент 1992 года по МПК A61H39/00 G01N27/00 

Изобретение относится к электрическим измерениям, а более конкретно к устройствам для измерения электрических параметров поверхностного слоя или пленочных покрытий, и может быть использовано в дефектоскопии, медицине, эпитоксиальной технологии и т.п.

Цель изобретения - повышение точности измерений.

На фиг. 1 схематически изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.

Устройство для измерения электрических параметров имеет источник 1 питания, измерительный прибор 2, пассивный 3 и активный 4 мультиэлектроды. Эти элементы образуют последовательно соединенную электрическую цепь. Каждый мультиэлект- род состоит из множества отдельных электродов 5 и 6, которые образуют параллельно соединенные между собой разнополярные пары. На рабочей плоскости устройства электроды расположены в шахматном порядке, изолированы друг от друга и расстояние между двумя ближайшими не превышает 100 мкм.

Устройство работает следующим образом.

Рабочую (торцовую) поверхность объединенного мультиэлектрода (щупа) переме- ща ют по поверхности измеряемого слоя. При этом прибор 2 регистрирует величину протекающего между электродами 5 и 6 через проводящий измеряемый слой (на чертеже не показан) тока. Толщина слоя не превышает 100 мкм. Шахматное расположение электродов создает скалярное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического поля вне поверхностного слоя. Все это повышает точность измерений.

Формула изобретения Устройство для измерения электрических параметров поверхностного слоя, содержащее электронно-измерительный

W

Ј

2 ъ

со

аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено дополнительными пассивными электродами, при этом активные и пассивные электроды одинаковые по количеству расположены в шахматном порядке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы друг от друга.

Использование: измерение электрических параметров поверхностного слоя или пленочных покрытий, в частности в медицине для определения электроаномальных зон кожи для иглотерапии. Сущность изобретения: устройство содержит электронно-измерительный аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, которые расположены в шахматном порядке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы один от другого. Шахматное расположение электродов создает скалярное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического поля вне поверхностного слоя. Все это повышает точность измерений. 2 ил.