Изобретение относится к электрическим измерениям, а более конкретно к устройствам для измерения электрических параметров поверхностного слоя или пленочных покрытий, и может быть использовано в дефектоскопии, медицине, эпитоксиальной технологии и т.п.
Цель изобретения - повышение точности измерений.
На фиг. 1 схематически изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.
Устройство для измерения электрических параметров имеет источник 1 питания, измерительный прибор 2, пассивный 3 и активный 4 мультиэлектроды. Эти элементы образуют последовательно соединенную электрическую цепь. Каждый мультиэлект- род состоит из множества отдельных электродов 5 и 6, которые образуют параллельно соединенные между собой разнополярные пары. На рабочей плоскости устройства электроды расположены в шахматном порядке, изолированы друг от друга и расстояние между двумя ближайшими не превышает 100 мкм.
Устройство работает следующим образом.
Рабочую (торцовую) поверхность объединенного мультиэлектрода (щупа) переме- ща ют по поверхности измеряемого слоя. При этом прибор 2 регистрирует величину протекающего между электродами 5 и 6 через проводящий измеряемый слой (на чертеже не показан) тока. Толщина слоя не превышает 100 мкм. Шахматное расположение электродов создает скалярное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического поля вне поверхностного слоя. Все это повышает точность измерений.
Формула изобретения Устройство для измерения электрических параметров поверхностного слоя, содержащее электронно-измерительный
W
Ј
2 ъ
со
аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено дополнительными пассивными электродами, при этом активные и пассивные электроды одинаковые по количеству расположены в шахматном порядке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы друг от друга.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
МУЛЬТИЭЛЕКТРОД | 2003 |
|
RU2266100C2 |
Устройство для рефлексотерапии | 1984 |
|
SU1255130A1 |
Устройство для электрорефлексотерапии | 1990 |
|
SU1783983A3 |
УСТРОЙСТВО ХРАНЕНИЯ И ОБРАБОТКИ ДАННЫХ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1999 |
|
RU2208267C2 |
Способ обнаружения электромагнитных геофизических возмущений от движущихся источников | 2022 |
|
RU2794698C1 |
ТЕПЛОВОЙ ПРИЕМНИК ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2009 |
|
RU2397458C1 |
Способ определения дефектов полупроводниковых слоев и диэлектриков | 1980 |
|
SU868525A1 |
ТЕПЛОВОЙ ПРИЕМНИК | 2012 |
|
RU2518250C1 |
СКВАЖИННЫЙ ЗОНД ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОВЫХ СВОЙСТВ ГОРНЫХ ПОРОД И ПЛОТНОСТИ ГЕОТЕРМАЛЬНЫХ ТЕПЛОВЫХ ПОТОКОВ | 2007 |
|
RU2406081C2 |
Устройство для настройки и проверки работоспособности инфракрасной аппаратуры систем дистанционного наблюдения | 2024 |
|
RU2826442C1 |
Использование: измерение электрических параметров поверхностного слоя или пленочных покрытий, в частности в медицине для определения электроаномальных зон кожи для иглотерапии. Сущность изобретения: устройство содержит электронно-измерительный аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, которые расположены в шахматном порядке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы один от другого. Шахматное расположение электродов создает скалярное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического поля вне поверхностного слоя. Все это повышает точность измерений. 2 ил.
Способ определения электроаномальных зон кожи и щуп для его осуществления | 1981 |
|
SU1360733A1 |
Устройство для сортировки каменного угля | 1921 |
|
SU61A1 |
Авторы
Даты
1992-06-23—Публикация
1990-03-28—Подача