Известен способ изготовления автоэлектронного пленочного катода с вытягивающим электродом, расположенным на малом расстоянии от края катодной пленки. Изолирующий зазор между катодом и вытягивающим электродом образуется щелью, прорезаемой электронным лучом.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что пленки катода и вытягивающего электрода напыляют одновременно под углом из точечного источника, расположенного со стороны вытягивающего электрода. Подложка, на которую напыляют пленки, имеет ступенчатый рельеф, в тени которого при косом напылении проводящих пленок образуется изолирующий зазор.
Способ упрощает технологию изготовления электродной системы, разделенной изолирующим зазором.
Предмет изобретения
Способ изготовления автоэлектронной пленочной электродной системы, состоящей из катода и вытягивающего электрода, путем напыления на диэлектрическую подложку проводящих пленок этих электродов, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления электродной системы, разделенной изолирующим зазором, пленки напыляют на подложку катода и вытягивающего электрода одновременно под острым углом из точечного источника, расположенного со стороны вытягивающего электрода.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ПЛЕНОЧНЫЙ ПЛАНАРНО-ТОРЦЕВОЙ МАТРИЧНЫЙ АВТОЭЛЕКТРОННЫЙ КАТОД | 1995 |
|
RU2089960C1 |
ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1996 |
|
RU2089001C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДНО-СЕТОЧНОГО УЗЛА ЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА С АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИЕЙ | 2017 |
|
RU2653531C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДНО-СЕТОЧНОГО УЗЛА ЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА С ХОЛОДНОЙ ЭМИССИЕЙ | 2017 |
|
RU2652981C1 |
УСТРОЙСТВО С ПЛЕНОЧНЫМ ПЛАНАРНО-ТОРЦЕВЫМ МАТРИЧНЫМ АВТОЭЛЕКТРОННЫМ КАТОДОМ | 1994 |
|
RU2127463C1 |
Полевой эмиссионный элемент и способ его изготовления | 2017 |
|
RU2656150C1 |
УСТРОЙСТВО С АВТОЭЛЕКТРОННЫМ ЭМИТТЕРОМ | 1992 |
|
RU2071616C1 |
ИНДИКАТОР ИЗОБРАЖЕНИЯ | 1992 |
|
RU2022393C1 |
О П И с А Н и Ё ИЗОБРЕТЕНИЯ | 1973 |
|
SU376826A1 |
ПОЛЕВОЙ ЭМИССИОННЫЙ КАТОД И СПОСОБЫ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) | 2002 |
|
RU2271053C2 |
Даты
1965-01-01—Публикация