СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЛУБОКОГО ВАКУУМА Советский патент 1965 года по МПК F04B37/08 

Известиыё способы получения глубокого вакуума энергоемки, могут обеспечить глубокий вакуум только при откачке в теченне длительного времени.

Описываемый способ отличается от известных тем, что вакуумируемую емкость заполняют парами низкотемпературной жидкости и предварительно откачивают их насосом, повторяя это многократно. Такая откачка способствует удалению адсорбированных газов и замене их адсорбированным наром до получения заданной чистоты последнего.

Для получения глубокого вакуума емкость (или выделенный отсек малого объема) охлаждают, при этом пар конденсируется и вымерзает. Давление в емкости понижается до давления пара при температуре примененного хладагента. В качестве рабочего вещества могут быть примеиены пары воды, спирта, цинка, кадмия и другие, в качестве хладагента - жидкий азот, гелий, углекнслота и др.

Предлагаемый способ позволяет увеличить скорость откачки п дает возмол ность получать глубокий вакуум в поточных линиях производства.

Предмет изобретения

Способ получения глубокого вакуума в емкости путем заполнения последпей парами рабочей жидкости, поступающими от испарителя и откачиваемыми )1асосами, отличающийся тем, что, с целью увел)1чеппя скорости откачки и возможиост 1 включения откачиых устройств в поточную линию производства, емкость заполняют парами 1П13котемпературной жидкости и откачивают их насосом, многократно повторяя до получения задаппой чистоты иара, а для иовышения иредельпого вакуума в емкости (или выделеииом отсеке малого объема для конденсации наров) конденсат вымораживают при помощи периодически подключаемого сосуда с хладагеитом.