Способ получения вакуума Советский патент 1982 года по МПК F04B37/02 

(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА

1

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен способ получения вакуума путем откачки газа сорбционным насосом с периодической подачей в откачиваемый объем промывного газа Cl.

При получении вакуума известным способом в качестве промывного газа используют низкокипучий газ, дополнительно подаваемый в откачиваемый объем. Подача газа в откачиваемый объем усложняет технологию и возникает возможность внесения дополнительных загрязнений и накопления в объеме трудноконденсируемых газов.

Цель изобретения - упрощение конструкции.

Указанная цель достигается тем, что в качестве промывного газа используют десорбированный газ, получаемый из сорбционного насоса при его нагреве.

Причем температуру сорбционног.о насоса последовательно уменьшают.

На чертеже представлена схема установки для реализации предлагаемого ; способа.

Установка содержит сорбционный насос 1 , соединенный с камерой 2 через установленные на соединительных трубопроводах вентили 3 и . Давление в камере 2 измеряют при помощи

to манометра S, а давление в насосе 1 при помощи манометра 6. Установка имеет также дополнительный сорбционный насос 7 работа которого контролируется манометром 8. Сорбционные насосы 1 и 7 имеют фильтры 9. Ю и 11, 12.

Сорбционный насос откачивает газ из камеры 2 через открытые вентили 3 и до получения в системе предельного для данных условий вакуума. Откачка обеспечивается низкотемпературной адсорбцией и сопряжена с охлаждением

сорбционного блока, например, с помощью сосуда Дьюара (не показан) с хладагентом и с периодической проверкой предельного вакуума сорбционного насоса при закрытом вентиле . По окончании процесса всасывания (о чем свидетельствует падение скорости изменения давления по манометрам 5 и 6) вентили 3 и закрываются, сосуд Дбюара удаляется и насос нагревается atMoc0epHMM воздухом или посредством специального электронагревателя (не показан) . Десорбирующийся при этом газ проходит систему фильтров 9 и 10, препятствующих проникновению в камеру 2 мелкодисперсных фракций сорбента при нарушении режимов его обезгаживания. По окончани1 1 процесса нагнетания и заполнения камеры 2 газом до определенного давления сорбционный насос опять погружается в сосуд Дьюара с хладагентом и процесс откачки камеры 2 повторяется без напуска в вакуумную систему дополнительного количества газов, например, многократно. О герметичности системы судят по изменению давления по манометру 5 в процессе откачки камеры 2, обдуваемой снаружи одним из пробных газов: Не, Ne или Hrj. Предельный вакуум сорбционного насоса 1 контролируют по манометру 6, по величине этого разрежения судят о целесообразности дальнейшей откачки камеры 2 при данной пропускной способности коммуникаций вакуумной системы.

В повторных циклах откачки камеры при том же или даже Меньшем используемом количестве промывочного газа и постоянной начальной концентрации его отдельных компонентов наблюдается тенденция к улучшению предельного вакуума; предельный вакуум, характерный для предыдущего цикла, должен достигаться за меньший промежуток времени.

После получения лучших и полностью воспроизводимых результатов откачки при определенных условиях термостатирования сорбционного насоса в повторных циклах всасывания и нагнетания режим откачки изменяют и процесс повторяют при меньшем давлении и меньшем количественном составе промывочных тазов, причем уменьшение количественного состава производят в порядке исключения газов с наивысшей температурой конденсации. Это обеспечивается тем(1ерлтуриь1м воздействием на сорбционный насос - понижением температуры нагрева сорбента.

Непрерывность процесса откачки с прополаскиванием, уменьшение давления промывочного газа и постоянство давления промывочного газа в процессе откамки могут быть обеспечены параллельной установкой дополнительного сорбционного насоса 7. Тогда в период

откачки камеры 2 насосом 7 насос 1, прогреваемый в это время с помощью электродвигателя (не показан), нагнетает предсорбированный газ в камеру 2. При этом сосуд Дьюара и электронагреватель меняют соответственно местами и возвращают на исходные позиции при смене циклов всасывания и нагнетания у насосов 1 и 7. Нагнетаемый из насоса 7 газ проходит систему фильтров 11 и 12, аналогичную фильтрам 9 и 10 по конструкции и назначению. Контроль за давлением газов при работе насоса 7 осуществляется по манометру 8.

. Использование предлагаемого способа получения вакуума обеспечивает возможность упрощения технологии откачки , стабилизацию качества очистки промывочных газов, повышение быстроты откачки высококипящих газов и паров и скорости газрвыделения материалов камеры, улучшение условий кон(троля герметичности и чистоты камеры, что значительно повысит качество вакуумной технологии.

Формула изобретения

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1, Черепнин И.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М., Советское радио, с. 365-375.