СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ ДИСКРЕТНЫХ Советский патент 1966 года по МПК H01L31/18 

Известен снособ изготовления системы дискретных фоточувствительных пленочных элементов на стеклометаллической пластиие, иапылеиием иолуироводпика в вакууме через маску, отверстия которой совпадают с электродами пластины.

Предлагаемый способ позволяет изготовить дискретные системы фоточувствительиых пленочных элементов с высокой разрешающей способностью, не прибегая к технике масок. Для этого на одну из поверхностей стеклометаллической пластины катодным распылением наносят слой илатины, затем пластину со стороиы платины травят в коваровом травителе. Процесс травления длится 10-20 мин в зависимости от размеров электродов и требуемой глубины ячеек. Слой нлатины па стекле не стравливается.

Фоточувствительная пленка с аномально большим фотоиапряжепием (афи-нленка) наносится на поверхность подготовленной стеклометаллической пластины испарением в вакууме, причем ось молекуляриого пучка составляет с нормалью к поверхности острый угол. При этом участки фотослоя, лежаш,ие на иоверхности пластины, закорачиваются платиновым слоем, а на боковых новерхностях ячейки образуется дискретиый фоточувствительиый элемент.

При использовании в качестве фоточувствительиого слоя полупроводниковой плеики с аномальио большим фотонапряжением при освенгении полученной системы генерируется электрическое наиряжеиие между выводом элементарной ячейки и обш,им платиновым электродом.

Способ может найти применеиие в схемах микроэлектроиики ири разработке преобразователей распределенных радиационных потоков в электрическнй потенцнальный рельеф и устройств электрографии.

Предд ет изобретеиия

Способ изготовления системы дискретных фоточувствительных пленочиых элементов с высокой разрен1аюш,ей снособностью на стеклометаллнческой нластнне с анизотропной электропроводностью, отличающийся тем, что, с целью упрощения ее изготовлеиия, на поверхность стеклометаллической пластины напыляют слой платины, затем пластину со стороны платнны травят в коваровом травителе, иосле чего иаиосят испарением в вакууме фоточувствнтельную пленку молекулярным пучком, нанравленным нод углом меньше к новерхности напыления.