Способ контроля однородности фоточувствительности приемников излучения Советский патент 1992 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к области полупроводниковой техники и фотоэлектроники и может быть использовано для контроля однородности фоточувствительности полупроводниковых пластин.

Известен способ, включающий сканирование лазерным лучом поверхности образца, регистрацию фотоотклика и суждение об однородности приемника излучения по изменениям фотоотклика. Этот способ имеет недостаточную чувствительность.

Целью изобретения является повышение чувствительности способа контроля однородности фоточувствительности приемников излучения.

Поставленная цель достигается тем, что в способе, включающем сканирование лазерным лучом поверхности образца, регистрацию фотоотклика и суждение об однородности приемника по изменениям фотоотклика, модулируют диаметр лазерного луча и регистрируют фотоотклик на частоте модуляции лазерного луча.

Для осуществления способа используют устройство, изображенное на чертеже, и содержащее: СО-лазер 1 с пьезокорректо- ром, делитель 2 лазерного пучка, модулятор 3 пространственного положения луча, систему 4 автоматической подстройки частоты (АПЧ) СО-лазера, фотоприемник 5 системы АПЧ, пропускающую линзу 6 на фотоприемник системы АПЧ, поворотное зеркало 7, усилитель 8 мощности, звуковой генератор 9, усилитель 10 мощности, поворотное зеркало 11, прерыватель 12, устройство 13 фокусирующее и перемещающее лазерный пучок по поверхности образца с контролем пространственного положения, модулятор 14 диаметра лазерного пучка, падающего на образец, гелиевый криостат 15 с образцом, двухкоординатный самописец 16, микро- ЭВМ Электроника ДЗ-28 17, устройство 18 сопряжения с микроЭВМ, цифровой вольтметр 19, синхронный детектор 20 и усилитель 21 напряжения.

Способ осуществляют следующим образом. Лазерное пятно сканируют по поверхXI00 О1 О

сл о

ности приемника при помощи устройства 13, диаметр лазерного пучка моделируют с частотой Q 10 кГц при помощи модулятора 14, регистрируют отклик фотоприемника на частоте Я вольтметром 19. данные о положении лазерного пятна и величине фотоотклика заносятся в микро-ЭВМ 17 и выводятся на са мописец, по кривой на самописце судят об однородности фоточувствительности приемника.

Формула изобретения Способ контроля однородности фоточувствительности приемников излучения, включающий сканирование лазерным лучом поверхности образца, регистрацию фотоотклика и суждение об однородности приемника излучения по изменениям фотоотклика, отличающийся тем, что, е целью повышения чувствительности спо- соба, модулируют диаметр лазерного луча и регистрируют фотоотклик по частоте модуляции диаметра лазерного луча.

Назначение: изобретение относится к области полупроводниковой техники и фотоэлектроники и может быть использовано для контроля однородности фоточувствительности полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: поверхность пластин сканируют лазерным лучом. Модулируют диаметр лазерного луча в процессе сканирования. Регистрируют переменную составляющую фотосигнала, 1 ил.

1