Вытяжной шкаф Советский патент 1993 года по МПК B08B15/00 

Изобретение относится к области вентиляционных систем, а именно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий и может быть использовано в химической, микроэлектронной, фармацевтической и других областях народного хозяйства для работы со сверхчистыми, токсичными и биологически опасными для человека веществами.

Наиболее близким техническим решением является вытяжной шкаф для работы с токсичными и биологически опасными веществами, содержащий герметичный корпус, выполненный из стального листа со стеклянной передней стенкой, герметичной дверью и встроенным резиновыми перчатками, глухой пол, фильтр очистки воздуха, включающий фильтр грубой очистки и фильтр тонкой очистки, вытяжную систему для отвода загрязненного воздуха.

Известное устройство позволяет проводить работы со сверхчистыми и биологически опасными веществами, предотвращает вредные выбросы в окружающую среду за

счет герметизации соединений элементов конструкции корпуса и загрузочной двери. При разгерметизации конструкции для выполнения операции загрузки-выгрузки, случайных нарушениях целостности корпуса шкафа, разрывах резиновых перчаток защита от выбросов достигается за счет созданного в рабочей зоне пониженного (относительно атмосферного) давления.

Недостатком указанного устройства яп- ляется малая чистота в рабочей зоне для работы со сверхчистыми веществами из-за создаваемого в рабочей зоне турбулентного воздушного потока, препятствующего поддержанию обеспыленной рабочей атмосферы и приводящей к загрязнению вещества.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки воздуха в рабочей зоне.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Вытяжной шкаф для работы со сверхчистыми токсическими веществами содержит корпус 1; стеклянную переднюю загрузочел

С

м

SCO

Ы iOl 0

ел

ную дверь 2; резиновые перчатки 3; воздушный фильтр 4; фальшпол 5; вытяжную систему 6.

Корпус 1 сделан из металла или любого другого листового материала, швы конструкции выполнены герметично. Стеклянная загрузочная дверь 2, с расположенным по периметру резиновым уплотнением, имеют герметично встроенные перчатки 3 для ман НуЛйрования объектами в рабочей зоне и за мок. , & .

ВоздушТГы й фильтр 4 изготовлен из фильтровойтканиФПП 15-1,5 ТУ-6-16-2062- 76. По паспортным данным ткань имеет эффективность очистки 0,999 для частиц размером 0,5 мкм и более. Для получения сверхчистого воздуха и для оптимальной работы фильтра необходимо установить два слоя ткани. Фильтрующая ткань крепится в жестком каркасе.

Фальшпол 5 представляет из себя перфорированный металлический лист с различными зонами, отличающимися друг от друга степенью перфорации, наибольшей у загрузочной двери и наименьшей у задней стенки шкафа.

Вытяжная система 6 крепится герметично снизу корпуса шкафа 1, под фальшполом 5.

Вытяжной шкаф работает следующим образом.

Вытяжная система 6 функционирует постоянно. За счет отсоса воздуха и гидравлического сопротивления самого фильтра в шкафу создается пониженное давление на 7-8-мм рт.ст. по отношению к атмосферному. При наличии разности давлений в рабочую зону через фильтр 4 начинает поступать наружный воздух со скоростью 0,45 м/с. Из-за разного гидравлического сопротивления зон фальшпола 5 образуется направленное движение воздушного потока 7 от фильтра к первой зоне фальшпола. Поток предотвращает проникновение пыли и загрязнений с перчаток 3 и загрузочной двери 2 в рабочую зону. Загрязненный воздух через отверстия фальшпола поступает в подфальшпольное пространство и далее в вытяжную систему 6.

Наибольшую потребность в такой конструкции испытывает электронная промышленность, выпускающая большие интегральные схемы (БИС) оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) емкостью 64, 256 Кбит и 1 Мбит. Технология изготовления БИС предусматривает использование большого количества сверхчистых химических

растворов (органические растворители: диоксан, метил целлозольвацетат, диметилформамид, органические кислоты и др.).

Одной из основных причин загрязнений

сверхчистых растворов является их разлив из больших фляг в мелкую технологическую тару.

Во время этой операции аэрозольные частицы, взвешенные в рабочей зоне шкаФа. попадают в раствор и вызывают его загрязнения. В дальнейшем во время технологического процесса частицы переносятся из раствора на полупроводниковые пластины и вызывает дефекты на поверхности и конечный брак продукции.

Предложенное устройство устраняет указанные недостатки.

Формула изобретения Вытяжной шкаф, содержащий корпус с загрузочной дверью, рабочим отверстием со встроенными перчатками и полом, фильтр и вытяжную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки воздуха рабочей зоны, пол выполнен перфорированным из трех зон, при этом степень перфорации каждой зоны в направлении от загрузочной двери к противолежащей стенке корпуса определяется по следующей зависимости Кп : Кп : К 0,8 : 0,5 : 0,4, а площади зон определяют по зависимости F : F : F 0,35:1:1, при этом вытяжная система размещена под полом, а площадь пола вычисляют по формуле F ПВс/1620, где Пвс

производительность откачки вытяжной системы: Fn - площадь пола.

Область применения: изобретение относится к вентиляционным системам,более конкретно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий. Цель изобретения - повышение эффективности очистки воздуха рабочей зоны. Вытяжной шкаф содержит герметичный корпус с загрузочной дверью, перчатки, фильтр, пол, вытяжную систему, причем пол выполнен из 3-х зон с различной степенью перфорации по глубине рабочей камеры, площади и коэффициенты перфорации которых связаны зависимостями: FV: F2 : РЗ 0,35 : 4 : 1, КП1. Кп2, КпЗ 0,8 : 0,5: 0,4. 1 ил.