Изобретение относится к технике импульсных источников света и может быть использовано в микроэлектронике для осуществления фотостимулированных процессов на образцах большого диаметра (≈10 см и более).
Известны импульсные источники света (лазеры), которые позволяют получать мощное импульсное излучение в ВУФ и УФ областях спектра, используемые в микроэлектронике, содержащие основные электроды, систему предыонизации, оптический резонатор. Недостатком лазерных источников является их сложность и меньший ресурс рабочей смеси по сравнению с лампами, т.к. в лампах используется спонтанное излучение, а в лазерах индуцированное. Известны также ламповые источники света, которые используются в различных областях науки и техники. Однако они имеют неравномерное распределение плотности мощности по выходному окну, а при достижении хорошей равномерности распределении плотности мощности на облучаемом объекте очень низкие КПД относительно полезно используемой энергии.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является искровой источник света, который содержит наполненную рабочей смесью разрядную камеру с выходным окном. В камере неподвижно размещены высоковольтный катод и заземленный анод, система предыонизации с искровым промежутком, которые подключены к генератору накачки. Недостатком прототипа является неоднородность плотности мощности излучения по сечению выходного пучка из-за того, что подобные источники формируют сферический фронт световой волны.
Целью изобретения является увеличение диаметра выходного пучка и улучшение однородности распределения плотности мощности выходного пучка по его поперечному сечению.
Указанная цель достигается тем, что в импульсной лампе, содержащей наполненную рабочей смесью разрядную камеру с выходным окном, размещенные внутри камеры круглый катод, анод и систему предыонизации с искровым промежутком, подключенные к генератору накачки, согласно изобретению катод выполнен сплошным, и имеет профиль, обеспечивающий формирование однородного электрического поля, а анод сетчатым с прозрачностью не менее 70% и с размером ячейки не превышающим 0,1 от расстояния между катодом и анодом, выходное окно камеры установлено за анодом, система предыонизации снабжена дополнительными искровыми промежутками, искровые промежутки расположены равномерно по диаметру катода, а расстояние между ними не превышающем 1/4 диаметра катода.
На фиг.1 схематически изображена предлагаемая широкоапертурная лампа; на фиг.2 распределение плотности мощности излучения по сечению выходного пучка.
Лампа содержит генератор накачки 1, наполненную рабочей смесью разрядную камеру 2 с выходным окном 3, размещенные внутри камеры 2 основные электроды, один из которых сетчатый анод 4, а другой круглый профилированный и сплошной катод 5, искровые промежутки 6 системы предыонизации, расположенные равномерно по краю катода 5. Основные электроды 4 и 5 и искровые промежутки 6, подключены к генератору накачки 1. Выходное окно 3 камеры 2 установлено за анодом 4.
Импульсная широкоапертурная лампа работает следующим образом.
При срабатывании генератора накачки 1 напряжение подается на основные электроды 4 и 5, причем, на фронте импульса напряжения обострительные конденсаторы. С генератора накачки 1 заряжаются через искровые промежутки 6. Излучение от искровых промежутков 6 обеспечивает за счет фотоэффекта выбивание электронов с поверхности катода 5 и фотоионизацию рабочей смеси в промежутке между основными электродами 4 и 5, что позволяет между ними сформировать объемный разряд. Излучение из объемного разряда через сетчатый анод 4 и окно 3 выходит из лампы в виде пучка с высокой однородностью плотности мощности излучения по его сечению. Применение сплошного профилированного катода 5 позволяет формировать однородный по сечению объемный разряд.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЛАМПА | 1996 |
|
RU2120152C1 |
УСТРОЙСТВО НАКАЧКИ ШИРОКОАПЕРТУРНОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА ИЛИ УСИЛИТЕЛЯ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ | 2002 |
|
RU2212083C1 |
УСТРОЙСТВО НАКАЧКИ МОЩНОГО ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА | 1998 |
|
RU2141708C1 |
Азотный лазер, возбуждаемый продольным электрическим разрядом | 2017 |
|
RU2664780C1 |
НЕЦЕПНОЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ HF(DF)-ЛАЗЕР | 2001 |
|
RU2219626C2 |
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕНЕРАЦИИ В НЕМ | 2005 |
|
RU2321119C2 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНОГО САМОСТОЯТЕЛЬНОГО РАЗРЯДА | 2012 |
|
RU2517796C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНОГО САМОСТОЯТЕЛЬНОГО РАЗРЯДА | 2013 |
|
RU2536094C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНОГО САМОСТОЯТЕЛЬНОГО РАЗРЯДА | 1998 |
|
RU2162263C2 |
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР | 2007 |
|
RU2357339C1 |
Использование: в микроэлектронике для осуществления фотостимулированных процессов на образцах большого диаметра. Сущность изобретения: импульсная широкоапертурная лампа содержит наполненную рабочей смесью разрядную камеру с выходным окном. Внутри нее размещены круглый катод, анод и искровые промежутки. Катод выполнен сплошным и имеет профиль, обеспечивающий формирование однородного электрического поля. Анод выполнен сетчатым с прозрачностью не менее 70% и с размером ячейки не более 0,1 от расстояния между катодом и анодом. Искровые промежутки расположены равномерно по краю катода. 2 ил.
ИМПУЛЬСНАЯ ШИРОКОАПЕРТУРНАЯ ЛАМПА, содержащая наполненную рабочей смесью разрядную камеру с выходным окном, размещенные внутри камеры круглый катод, анод и систему предыонизации с искровым промежутком, подключенным к генератору накачки, отличающаяся тем, что, с целью увеличения диаметра выходного пучка и улучшения однородности распределения плотности мощности его по поперечному сечению, катод выполнен сплошным и имеет профиль, обеспечивающий формирование однородного электрического поля, а анод сетчатым с прозрачностью не менее 70% и с размером ячейки не превышающим 0,1 от расстояния между катодом и анодом, выходное окно камеры установлено за анодом, система предыонизации снабжена дополнительными искровыми промежутками и все искровые промежутки расположены равномерно по краю катода, а расстояние между ними не превышает 1/4 диаметра катода.
Авторское свидетельство СССР N 760240, кл | |||
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1995-08-20—Публикация
1990-12-29—Подача