ВИЗУАЛЬНЫЙ ФОТОМЕТР Советский патент 1966 года по МПК G01J1/58 G01B11/06 

Визуальные фотометры для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом трансформации, содержащие источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, известны.

Предлагаемый фотометр отличается от известных тем, что в нем установлены: спектрозоиальные зеркала с высоким коэффициентом отражения, выделяющие области спектра 240н-280 mix, 280-f-330 /np, и экран, разделенный на три сектора и люминесцирующий синим, зеленым и красным светом; поворотная призма Дове перед окуляром.

Это отличие позволяет повысить интенсивность рабочего потока и точность контроля толщины покрытий.

На фиг. 1 изображены три оптических канала, вид сверху; на фиг. 2 - один из оптических каналов в вертикальном сечении, разрез по А-А; на фиг. 3 - экран, вид сверху.

Свет от источника / УФ-радиации, например дуговой водородной лампы ВУ-1, проектируется кварцевой линзой 2 через светофильтр 3, отражающий видимую область спектра, с помощью отклоняющего плоского зеркала 4 на исследуемую поверхность 5 образца.

Далее изображение светящегося тела водородной лампы вогнутым спектрозональным зеркалом 6, отражающим заданную длину волны, переносится на светящийся экран 7, который защищен кожухом (на чертеже не показан) от засвечивания посторонними источниками света, и вызывает свечение фосфора соответствующего сектора экрана своим цветом.

Экран представляет собой кольцо из трех равновеликих секторов 8, 9 и 10, покрытых фосфором и светящимися синим, зеленым и красным светом под действием падающих на них трех потоков, разделенных по спектру.

На поверхность образца спроектированы совмещенные интегральные УФ-изображения 1} источников. Спектрозональные зеркала с полосами отражения 240-4-280mn вызывают синее свечение, 280- 330т|х - зеленое,

330-i-440 mp, - красное. При смещивании трех цветов вращением призмы 12 Дове получается кольцо, показанное штрихами на фиг. 3. При «равновесии излучений фосфора всех трех секторов цвет кольца становится белым,

что можно получить, изменяя потоки УФ-радиации с помощью ирисовых диафрагм 13, 14 и 15.

Дить о толщине просветляющего покрытия (цвет видно глазом 16).

Все три оптических канала фотометра расположены под углом 120° друг к другу.

Предмет изобретения

Визуальный фотометр для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом цветной трансформации, содержащий источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, отличающийся тем, что, с целью повышения интенсивности рабочего потока, в нем установлены спектрозональные зеркала с высоким коэффициентом отражения, выделяющие области спектра 240- 280тц, и 330-7-400 тц, экран, разделенный на три сектора, люминесцирующий синим, зеленым и красным светом, и поворотная призма Дове перед окуляром.

Фиг.1

6 А

.3