СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЛАЗМЕ, ГЕНЕРИРУЕМОЙ В ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫХ ПРИБОРАХ Советский патент 1995 года по МПК H05H1/00 

Описание патента на изобретение SU1820827A1

Изобретение относится к области электрофизики и может применяться для создания пучково-плазменных приборов.

Целью изобретения является упрощение определения концентрации электронов в пучково-плазменных СВЧ приборах с протяженным плазменным шнуром, обеспечение контроля концентрации электронов в процессе работы данного типа приборов и регулирование величины концентрации электронов.

Согласно изобретению поставленная цель достигается тем, что в способе определения концентрации электронов в плазме, генерируемой в пучково-плазменных приборах, включающем изменение величины тока Iк, текущего через электрический зонд, помещенный в плазму пучково-плазменного разряда, измерение величины потенциала Uк зонда и определение по результатам измерений концентрации электронов, в качестве электрического зонда используют коллектор электронного пучка, потенциал которого Uк задают отрицательным относительно корпуса замедляющей СВЧ структуры, размещенной коаксиально плазменному шнуру, дополнительно изменяют величину тока Ib электронного пучка, изменяют величину концентрации электронов из соотношения
ne = nb · · , где nb - концентрация электронов в электронном пучке;
Vb - скорость электронов пучка;
V - средняя продольная скорость плазменных электронов;
ε o- энергия электронов пучка;
ε н - минимальная энергия в энергетическом спектре плазменных электронов.

На чертеже показан качественно энергетический спектр плазменных электронов.

Суть изобретения заключается в следующем. Плазма в пучково-плазменных СВЧ приборах представляет собой замагниченный длинный тонкий шнур, боковая поверхность которого в 102-103 раз больше его торцевой поверхности. Плазма расположена коаксиально в замедляющей структуре и заполняет весь пролетный канал, изолируясь от металлических стенок замедляющей структуры на величину дебаевского радиуса.

Это определяет следующие особенности поведения плазмы. Электроны неравновесной плазмы, движущиеся в сторону коллектора, попадают на него и выбывают из плазменного канала, а электроны, движущиеся в сторону пушки, отражаются ускоряющим отрицательным потенциалом катода, движутся обратно по каналу и также попадают на коллектор.

Ионы плазмы, движущиеся с меньшими скоростями, не успевают компенсировать поток электронов на коллектор. Плазма приобретает положительный потенциал, который приводит к кулоновскому расталкиванию ионов поперек магнитного поля. Ввиду большой площади боковой поверхности плазменного шнура и его близости к металлическим стенкам уже при малом положительном потенциале плазмы в доли вольта ток ионов с боковой поверхности уравновешивает ток плазменных электронов через торцевую поверхность на коллектор и дальнейший рост потенциала плазмы прекращается. Малый потенциал плазмы незначительно изменяет скорость продольного ухода электронов. Таким образом, происходит трехмерный разлет плазменных компонент с разделением зарядов.

Плазменные электроны, проходящие на коллектор увеличивают сигнал на коллекторе от пучковых электронов. Сравнивая сигнал от плазменных электронов с сигналом от пучковых электронов, концентрация nо которых известна, можно определить концентрацию электронов плазмы nе.

Если на коллектор подан отрицательный потенциал Uк относительно замедляющей структуры, то часть плазменных электронов, имеющих энергию больше величины εк = еUк, будет проходить на коллектор (заштрихованная часть спектра на чертеже), а электроны с меньшими энергиями будут отражаться от коллектора и возвращаться в канал, увеличивая степени ионизации газа. Потенциал Uк может быть подан от отдельного источника напряжения или его можно создать с помощью коллекторного резистора Rк, через который коллектор замыкается на корпус прибора и на котором ток пучка создает падение напряжения Uк=IкRк.

При малой величине Uк на коллектор проходит значительная доля плазменных электронов, которая вызывает увеличение сигнала на коллекторном резисторе (Iк) по сравнению с сигналом Ib, то есть Iк>Ib.

В этом случае концентрацию электронов nе плазмы можно определить по соотношению
ne = nb · ·
(1) где ε o- энергия электронов пучка, εн - минимальная энергия спектра плазменных электронов, Vb - скорость электронов пучка, V - средняя продольная скорость плазменных электронов. Отношение интегралов учитывает долю отраженных от коллектора электронов.

Спектр плазменных электронов можно приближенно представить в виде функции nе(ε) ≈ ne(ε) ~ . Тогда (1) принимает вид
ne = nb · ·
(2)
При энергии пучковых электронов ε b=10-50 кэВ средняя энергия плазменных электронов составляет εe =10-20 эВ и соответственно их средняя скорость равна Vе≈ (2-3)108 см/с, а с учетом углового распределения средняя продольная скорость движения плазменных электронов вдоль магнитных
силовых линий составляет V ≈ 108 см/с. Минимальная энергия спектра может быть выбрана равной εн ≈ 1 эВ.

Соотношение (2) для определения nе дает удовлетворительную точность (≅50 % ) при значениях запирающего потенциала Uк=(1-5)В. При более высоких Uк от коллектора отражается значительная часть высокоэнергетических плазменных электронов, которые производят дополнительную ионизацию газа в канале, а также становится заметным поток ионов на коллектор, который дополнительно уменьшает сигнал от тока плазменных электронов, поэтому точность определения nе данным способом уменьшается.

Согласно предложенному способу для определения nе не требуется введение каких-либо зондов в конструкцию пучково-плазменных приборов, поскольку роль измерительного зонда выполняет коллектор, поэтому измерение nе упрощается. Отсутствие специальных зондов позволяет проводить контроль nе в приборах без нарушения штатных режимов их работы.

При регулировании запирающего потенциала на коллекторе изменяется доля плазменных электронов спектра, уходящих из канала, что приводит к изменению концентрации плазмы в канале, то есть осуществляется быстрое электронное регулирование концентрации плазмы.

Похожие патенты SU1820827A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫХ СВЧ-ПРИБОРАХ 1991
  • Лисицын А.И.
RU2027327C1
ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ СВЧ-ПРИБОР 1991
  • Лисицын А.И.
RU2014663C1
ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ СВЧ-ПРИБОР (ВАРИАНТЫ) 2006
  • Завьялов Михаил Александрович
  • Мартынов Владимир Филиппович
  • Тюрюканов Павел Михайлович
  • Казаков Алексей Иванович
RU2330347C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ИОНОВ МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ПЛАЗМЫ 2023
  • Строкин Николай Александрович
  • Ригин Арсений Владимирович
RU2817394C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПУЧКА ИОНОВ 1991
  • Кузьмин Р.Н.
  • Староверов Л.И.
  • Муксунов А.М.
  • Шапкин В.В.
  • Петров В.Б.
  • Никифоров В.А.
  • Хрипунов Б.И.
SU1829742A1
ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ СВЧ-КОМПЛЕКС 2005
  • Переводчиков Владимир Иннокентьевич
  • Мартынов Владимир Филиппович
  • Завьялов Михаил Александрович
  • Лисин Владимир Николаевич
  • Тюрюканов Павел Михайлович
  • Гусев Станислав Иванович
RU2285975C1
ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ СВЧ-ПРИБОР 1986
  • Переводчиков В.И.
  • Бацких Г.И.
  • Сушин Ю.В.
  • Завьялов М.А.
  • Лисин В.Н.
  • Мартынов В.Ф.
  • Шапиро А.Л.
  • Дьяков В.М.
RU2084986C1
СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 2006
  • Шустин Евгений Германович
  • Исаев Николай Васильевич
  • Федоров Юрий Владимирович
RU2316845C1
Способ получения потока ионов 1988
  • Тараненко Виталий Кириллович
  • Иванов Борис Ильич
  • Егоров Алексей Михайлович
  • Шулико Владимир Николаевич
SU1603545A1
СПОСОБ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ ЗОНДАМИ ЛЕНГМЮРА С ВЫВОДАМИ, ЗАЩИЩЁННЫМИ НЕИЗОЛИРОВАННЫМИ СНАРУЖИ ЭКРАНАМИ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2017
  • Рябый Валентин Анатольевич
  • Машеров Павел Евгеньевич
  • Савинов Владимир Павлович
  • Якунин Валерий Георгиевич
RU2671948C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 820 827 A1

Реферат патента 1995 года СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЛАЗМЕ, ГЕНЕРИРУЕМОЙ В ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫХ ПРИБОРАХ

Использование: электрофизика, техника СВЧ приборов. Сущность изобретения: для обеспечения контроля и регулирования концентрации электронов в плазме пучково-призменного СВЧ усилителя потенциал коллектора электронного пучка задают отрицательным относительно корпуса замедляющей СВЧ структуры. Измеряют ток электронного пучка и ток, протекающий через коллектор, и изменяют потенциал коллектора. При превышении величиной тока коллекторы величины тока пучка определяют концентрацию электронов по результатам измерений в зависимости от параметров пучковых и плазменных электронов. 1 ил.

Формула изобретения SU 1 820 827 A1

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЛАЗМЕ, ГЕНЕРИРУЕМОЙ В ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫХ ПРИБОРАХ, включающий измерение величины тока Iк, текущего через электрический зонд, помещенный в плазму пучково-плазменного разряда, измерение величины потенциала Uк зонда и определение по результатам измерений концентрации электронов, отличающийся тем, что, с целью упрощения определения концентрации электронов в пучково-плазменных СВЧ-усилителях с протяженным плазменным шпуром, обеспечения контроля концентрации электронов в процессе работы данного типа приборов и регулирования величины концентрации электронов, в качестве электрического зонда используют коллектор электронного пучка, потенциал которого Uк задают отрицательным относительно корпуса замедляющей СВЧ-структуры, размещенной коаксиально плазменному шнуру, дополнительно измеряют величину тока Ib электронного пучка, изменяют величину потенциала коллектора, и при Ik > Ib определяют величину концентрации электронов из соотношения

где nb - концентрация электронов в электронном пучке;
Vb - скорость электронов пучка;
Vze - средняя продольная скорость плазменных электронов;
Eb - энергия электронов пучка;
Eh - минимальная энергия в энергетическом спектре плазменных электронов.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1995 года SU1820827A1

Гадеев К.К
Экспериментальное исследование стационарного пучково-плазменного разряда в скрещенных полях
Диссертация МФТИ, 1981.

SU 1 820 827 A1

Авторы

Лисицын А.И.

Комов А.Л.

Даты

1995-03-27Публикация

1989-07-26Подача