Способ абразивной обработки полупроводниковых материалов группы А @ В @ Советский патент 1993 года по МПК H01L21/304 

(Л

С

Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике, к обработке арсенида галлия и других материалов группы . Сущность изобретения: в смазоч- но-охлаждающую жидкость при обработке дополнительно вводят водорастворимую присадку, химически превращающую в водорастворимые нетоксичные соединения газообразные токсичные продукты, выделяющиеся при обработке. При резке и шлифо- вании арсенида галлия в качестве водорастворимой присадки используют перманганат калия или смеси веществ. 1 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при резке и шлифовании полупроводниковых материалов группы , таких как арсенид галлия, фосфид индия.

Целью изобретения является повышение безопасных условий труда.

Поставленная цель достигается тем, что в способе абразивной обработки полупроводниковых материалов группы А В в присутствии смазочно-охлаждающей жидкости с водорастворимой добавкой, в качестве водорастворимой добавки используют вещество,химически связывающее выделяющиеся газообразные продукты в водорастворимые нетоксичные соединения. При обработке арсенида галлия в качестве водорастворимой добавки используют перманганат калия при добавлении его в смазочно-охлаждающую жидкость в количестве 0,5-3,0%.

Поскольку СОЖ поступает непосредственно в зону контакта абразивного инструмента с полупроводниковым материалом, наличие вещества, взаи; эдействующего с газообразными токсичными соединениями, позволяетснизить уровень выделения вредных веществ с атмосферу, т.е. улучшает условия труда. Так, при резке или шлифовании арсенида галлия выделяется арсин, который химически взаимодействует с раствором перманганата калия с образованием водорастворимой соли мышьяка.

В качестве добавок можно использовать бихромат калия, углекислый калий и т.п.

П р и м е р. На станке-резке Алмаз-бМ проводят резку монокристалла арсенида галлия на пластины с помощью алмазного

со

00

-а XI GO О

Ј

круга с внутренней режущей кромкой АСР 60/53. Готовят СОЖ в виде 0,5-3,0%-ного раствора перманганата калия. СОЖ с помощью помпы подают на режущую кромку круга, вращающегося с частотой 1800-2000 об/мин. Скорость подачи 5-10 мкм/мин.

Измерение содержания арсина в воздухе производственного помещения показало, что его содержание значительно ниже предельно допустимой концентрации. Введение добавки в СОЖ не ухудшает качество обработки, а снижает выделение арсина в воздушную среду, т.е. обеспечивает достижение поставленной цели.

Эффективность способа заключается в возможности повышения срока службы фильтрующих элементов вытяжных систем, улавливающих вредные вещества типа арсина, в улучшении условий труда обслуживающего персонала на оборудовании резки и шлифования полупроводниковых материалов группы AMIBV.

Формула изо б р е те н и я

тем, что при обработке арсенида галлия в качестве водорастворимой добавки используют перманганат калия при добавлении его в смазочно-охлаждающую жидкость в количестве 0,5-3,0%.