Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1993 года по МПК F04D19/04 

СЛ

d

Изобретение относится к вакуумной технике.

Цель изобретения - повышение экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, обеспечение откачки агрессивных сред и повышение надежности.

На чертеже представлен насос,, продольный разрез. Он содержит корпус 1 с входным патрубком 2, расположенные по оси корпуса 1 цилиндрический статор 3 и закрепленный на валу 4, снабженном опорным узлом 5 и приводом 6, ротор 7, охватывающий цилиндрический статор 3 и образующий с последним и корпусом 1 последовательно расположенные походу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, причем молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора 3 и многозаход- ными спиральными канавками 8, выполненными на поверхности ротора 7, обращенной к цилиндрическому статору 3, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора 7, а опорный узел 5 и привод б вала А ротора 7 могут быть расположены снаружи корпуса 1. Кроме того, внутренние поверхности кор- .

Формула изобретения 1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным патрубком, расположенные по оси корпуса цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор, охватывающий цилиндрический статор и образующий с последним и корпусом последовательно расположенные по ходу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, отличающийся тем, что. с целью повышения экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к ципуса 1, ротора 7 и цилиндрического статора 3 снабжены защитным покрытием, а опорный узел 5 - фитилем, фитиледержателем. прижимающим фитиль к поверхности вала 4 ротора 7, и агрессивностойкой смазкой.

Насос работает следующим образом. Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 через входной патрубок 2 и, проходя последовательно через турбомолекулярную и две молекулярные ступени, нагнетается преимущественно в атмосферу, т.е. наличия фарвакуумных средств откачки не требуется. Эффективность работы молекулярной ступени со стороны нагнетателя

обеспечивается конфигурацией спиральных

канавок 8 на роторе 7. Наличие защитного

покрытия и агрессивностойкой смазки

опорного узла 5 позволяет откачивать любые, даже агрессивные газы. Подача смазки к опорам осуществляется при помощи фитиля, прижимаемого фитиледержателем к поверхности вала 4 ротора 7. Форвакуумная откачка может использоваться лишь при за

пуске насоса, что приводит к повышению его экономичности.

(56) Авторское свидетельство СССР № 1384798, кл. F 04 D 19/04, 1985.

линдрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противополож- ную направлению вращения ротора.

2. Насос по п.1, отличающийся тем, что опорный узел и привод вала ротора расположены снаружи корпуса.

3. Насос по п.1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения откачки агрессивных газов, внутренние поверхности корпуса, ротора и цилиндрического статора снабжены защитным покрытием, а опорный узел - фитилем и агрессивностой- кой смазкой.

4. Насос по п.З, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, опорный узел снабжен фитиледержателем, прижимающим фитиль к поверхности вала ротора.

Сущность изобретения по оси корпуса с входным патрубком расположены цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор. Ротор охватывает цилиндрический статор и образует с ним и корпусом последовательно расположены по ходу газа турбо- молекупярную и две молекулярные ступени откачки. Молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетателя образована поверхностью статора и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к статору. Канавки имеют уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направлены в сторону, противоположную направлению вращения ротора 3 злф-лы, 1 ил.