Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1993 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к машиностроению.

Цель изобретения - повышение степени сжатия.

На фиг. 1 изображен общий вид насоса; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с турбинной ступенью, образованной рядами лопаток 2 и 3 ротора

4 и статора 5, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени б и 7. Промежуточная ступень 6 образована спиральными пазами 8,9 ротора 4 и выступами 10 статора

5 переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора 4 и статора 5 промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором 11, установленным на валу 12 насоса, а выходная ступень 7 образована спиральными пазами 13 внутренней поверхности выступа статора 5 и спиральными пазами 14, выполненными на поверхности малого ротора 11, обращенной к выступу 10 статора 5 встречного направления. Насос работает следующим образом. Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 2 вращающегося ротора 4, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в промежуточную ступень 6, где происходит дополнительное сжатие откачиваемого газа, а затем его откачка в выходную ступень 7.

Благодаря конструктивному исполнению промежуточной ступени 6, в результате чего зазор в этой ступени между ротором 4 и статором 5 оптически, непрозрачен, а также дополнительным спиральным пазам 14 в малом роторе 11 ступени 7 практически исключается обратный переток газа в на- сос, а повышение стелен и сжатия позволяет отказаться от насоса, заменив его на более простой и дешевый.

Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с турбинной ступенью,

ю

образованной рядами лопаток ротора и статора, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором, устанвленным на валу, а выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления.

Сущность изобретения: турбинная ступень корпуса образована рядами лопаток ритора и статора. Со стороны нагнетения расположены вспомогательные промежуточная и выходная ступени. Промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления. Сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления. 2 ил.

Фиел