ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1966 года по МПК F04B37/06 H01J19/70 H01J21/18 

Известны геттерно-ионные насосы с ионизацией в электрическом и магнитном полях, содержащие анод и испаритель геттерного вещества, служащий одновременно катодом. Эффективность ионизации остаточных газов зависит от взаимного расиоложения электродов, электрического и магнитного нолей. В существующих конструкциях насосов она недостаточно высока. В предлагаемом насосе анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод из титаномолибденовой проволоки имеет П-образную форму и расположен с внещней стороны анода в плоскости его осевого сечения. На чертеже изображен насос в разрезе. Цилиндрический корпус 1 насоса из нержавеющей стали имеет верхний и нижний фланцы и рубащку водяного охлаждения. Верхним фланцем насос присоединяется к откачиваемому объему, нижний служит для соединения с цоколем насоса, Цоколь насоса имеет металлокерамические вводы 2 и электроды: испаритель-катод 3 и анОд 4. Анод представляет собой спираль из молибденовой проволоки, навитую на две молибденовые траверсы. Он имеет цилиндрическую форму, но может быть аллипсным, прямоугольным и т.. п. ленных по образующим наружного цилиндра корпуса. С торцов на стержни надеты полюсные наконечники 6. В качестве источника магнитного поля можно использовать соленоид. Испаритель питается переменным напряжени-1200°С. На ем, его рабочая температура -- напряжениеапод подается положительное 2 кв. у ктивные газы откачиваются за счет химического связывания свеженапыленной титановой пленкой, образующейся на внутренней поверхности корпуса насоса. Инертные газы откачиваются за счет их ионизации и внедрения ионов, ускоренных электрическим полем, в титановую пленку. Высокая эффективность ионизации обеспечивается больщой протяженностью электронных траекторий, которая определяется взаимным расположением и формой электродов, электрического и магнитных полей. Предмет изобретений Геттерно-ионный насос с ионизацией в электрическом и магнитном полях,. содержащий анод и испаритель геттерного вещества, служащий одновременно катодом, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности

Зход доды

Выход

боды