Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос Советский патент 1982 года по МПК H01J41/16 

1

изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям вакуумных насосов, сочетающих ионную откачку с помощью разряда Пеннинга и испарение геттера,и может найти широкое .прр1менение в технике физического эксперимента , в установках для нанесения тонких пленок, в электровакуумном производстве и во многих других областях, где необходим высокий и сверхвысокий безмасляный вакуум.

Известен комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий герметичный корпус, испаритель - геттера и магниторазрядную ступень откачки Т.

В этом насосе.внутри магниторазрядной ступени вокруг испарителя размещена сорбционная поверхность в виде двух профилированных цилиндров, охлаждаемых хладагентом. При .таком исполнении насоса ни поверхность карманов, ни внутренняя поверхность корпуса не запыляются геттером иcп;Jрителя. Исключается также возможность осаждения испаряющегося геттера на катодных пластинах и аноде, где происходит ионная откачка и химическое поглощение газа.

Кроме того, для обеспечения хорошего доступа откачиваемого газа к ячейкам магниторазрядных блоков ох10лаждаемый экран вокруг испарителя необходимо размещать на значительном расстоянии от магниторазрядной ступени, что приводит к необходимости 5 уменьшать поверхность экрана. Это, в свою очередь, обуславливает снижение быстроты откачки за счет хймсорбции.

Известен таюхе комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный на20сос, содержащий корпус, в котором размещены испйрители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки 2. 3 Ввиду того, мто карманы и разряд ные блоки размещены секциями по периметру многоугольника вблизи корпу са насоса, а испарители геттера расположены в центральной камере, внутри магниторазрядной ступени, на против входного отверстия, большая часть внутренней поверхности корпус а также поверхности карманов и разрядных блоков, обращенные к корпусу не,запыляются геттером испарителей, что является причиной пониженной быстроты откачки. Целью изобретения является повышение быстроты откачки насоса„ Указанная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе,содер жащем корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки, карманы расположены рядами вдоль радиусов, так что плоскость сим летрии каждого ряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители гетте ра размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенка ми соседних рядов карманов-. На чертеже схематически изображе Один из вариантов предлагаемого насоса, вид сверху. Насос сЬдержит цилиндрический корпус 1 с днищем, входной патрубок с фланцем 2 для подсоединения к откачиваемому объему. Внутри корпуса 1 под фланцем 2 перпендикулярно днищу и параллельно оси входного патрубка размещены герметичные карманы 3, в которых установлены ма1- ниты 4, а между карманами внутри насоса расположены электродные блок состоящие из ячеистого анОда 5 и катодных пластин 6. В секторах, огр ниченных .карманами с магниторазрядн ми блоками и внутренней поверхность корпуса 1, расположены испарители 7 геттера. Откачивающее действие насоса характеризуется ионной откачкой магни торазрядных блоков и сорбцией газов пленками геттера, сублимирующегося с испарителя и напыляющегося на 0 внутренние поверхности элементов насоса. При работе насоса газ, поступая через входное отверстие и распределяпсь по внутреннему объему насоса, попадает к ячейкам магниторазрядных блоков, где подвергается ионизации электронами. Положительные ионы бомбардируют катоды 6 и внедряются в них.В то же время с испарителей 7 испаряется геттер, который запыляет с двух противоположных сторон поверхности карманов и электродов, а также напыляется на открытую поверхность корпуса насоса. Благодаря этому прочнее замуровываются внедрившиеся в катоды частицы инертных газов, а также эффективнее откачиваются активные газы, так как увеличивается поверхность сорбции Расчет пока;зывает, что быстрота откачки насоса по сравнению с прототипом увеличивается при равном количестве работающих испарителей в 1,5 раза. Описанный насос эффективен и в случае работы на переменную газовую на-рузку. Формула изобретения Магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки, о т л и ч а ю.щ и и с я тем, что, с целью повышения скорости откачки, карманы расположены рядами вдоль радиусов, при этом плоскость симметрии каждого ряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенками соседних рядов карманов. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № , кл. И 01 J /41/00, 1972. 2.Ахманов Ш.А. и др. Комбинированные электроразрядные геттерноионные вакуумные насосы. Обзорная информация, серх ХМ-6. , ЦИНТИХИМнефтемаш, 1979, с. 33 (прототип).