ВИБРОКОИТАКТНЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ Советский патент 1966 года по МПК G01B7/02 

Известны виброконтактные способы измерения линейных величин, заключающиеся в использовании иьезокварцевого вибратора, колебания которого срываются при его контакте с контролируемым изделием.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что определяют возбуждающее вибратор напряжение в момент его контакта с контролируемым изделием и с помощью тарировочного графика, представляющего зависимость амплитуды колебаний вибратора от величины возбуждающего напряжения, определяют разность амплитуд колебаний вибратора, которая соответствует значению измеряемой величины.

Это позволяет повысить точность измерения.

Путем измерения амплитуды механических колебаний пьезокварцевого вибратора, например, на модуляционно-интерферометрической установке, чувствительность которой достигает величины порядка 0,01 А (10в мкм), при различной величине возбуждающего напряжения строится зависимость амплитуды от напряжения. Затем при некотором минимальном значении возбуждающего панряжения ,„,-„ пьезокварцевый вибратор перемещается до соприкосновения с перемещающимся объектом. Факт соприкосновения фиксируется по падению тока через резонатор в момент соприкосновения пластины с объектом.

После перемещения контролируемого изделия на некоторое расстояние, подлежащее измерению, амплитуда возбуждающего напряжения увеличивается посредством аттеньюатора до тех пор, пока за счет увеличения амплитуды колебаний пьезокварцевого вибратора амплитуда при некотором значении возбуждающего

напряжения ,„а. снова прикоснется к переместившемуся контролируемому изделию. Причем факт прикосновения регистрируется по прекращению роста тока через пластину. Искомое перемещение контролируемого изделия можно найти по графику как разность амплитуд колебаний пластины, соответствующая разности напряжений A E,,,. - Е,„;„.

20Предмет изобретения

Виброконтактный способ измерения лииейных величин, заключающийся в использовании возбужденного вибратора, например пьезо25 кварцевого, амплитуда колебаний которого уменьшается при его коптакте с контролируемым изделием, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, определяют возбуждающее вибратор напряжение в 3 лием и с помощью тарировочного графика, представляющего зависимость амплитуды колебаний вибратора от величины возбуждаю4щего напряжения, определяют разность амплитуд колебаний вибратора, которая соответствует значению измеряемой величины.