Известно оптико-электронное устройство для измерения линейных перемещений. Известное устройство содержит интерферометр с подвижным отражателем, установленным на каретке, интерференционный модулятор с источНИКОМ модулирующих колебаний, фотоэлектрнческнй преобразователь, преобразующий выходной пучок интерферомечра в электрический сигнал и соедииенный с усилителем иеременного тока, счетчик интерференциоиных иолос и интерполятор полосы. Точность известного устройства зависит от направления движения каретки и поэтому является постояииым нсточииком ошибок. Предложенное устройство отличается от известиого тем, что, с целью иовышения точности измерения, оно снабжено пластиной, установленной на пути выходного пучка интерферометра и разделяющей этот нучок на два, один из которых иреобразуется фотоэлектрическим преобразователем и усиливается усилителем переменного тока, вторым фотоэлектрическим нреобразователем. установленным на пути второго пучка, вторым усилителем неременного тока, электрически связаиным со вторым фотоэлектрическим нреобразователем, двумя щелевыми диафрагмами-, установленными перед каждым фотоэлектрическим нреобразователем и вырезающими из иитерфереициониой полосы участки, сдвпиутые по фазе па 90, двумя фазовыми демодуляторами, один входы которых соединены е усилнтелями перемениого тока, другие - соединены с источником модулирующих колебаний, а выходы демодуляторов соединеиы со входами реверсивного счетчика интерференционных полос п интерполятора интерференцноиной нолоеы. На чертеже дана схема предлагаемого устройства. Оптическая часть устройства базируется на применении интерферометра, образуемого осветителем 1, разделительной илаетиной 2, неподвижным отражателем 3, закрепленпым на иитерференциоииом модуляторе 4, подвижным отражателем 5, установлепным на каретке 6, на которой закренляется и измеряемая деталь А. Выходной пучок интерферометра пластиной 7 разделяется на два нучка, надающне на щелевые диафрагмы 8, вырезающне нз интерференционной полосы участки, сдви1 утые на 90°. За диафрагмамн установлены фотоэлектрические преобразователи Я сигналы с которых подаются на входы усилителей JO перемеппого тока. На один входы фазовых демодуляторов // поступают сигналы от усилителей 10, а на другие - от источника 12 модулирующих колебаний. Выходы демодуляторов электрически соедипеиы со входами реверсивиого счет
