ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ НАПРАВЛЯЮЩИХ Советский патент 1967 года по МПК G01B11/30 G01B7/34 G01B9/02 

Известно оптическое устройство для контроля прямолинейности направляющих, работающее но фазоизмерителыюму способу. Такое устройство содержит интерферометр, одип из отражателей которого изменяет при повороте щирипу интерференционных нолос, стеклянную пластину, два фотоэлектрических преобразователя, фазоизмерительное устройство с регистрирующими отсчетными приборами, счетчик интерференционных полос с регулируемым коэффициентом пересчета.

Предложенное устройство снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен один нз отражателей интерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соединены с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источииком компенсационного воздействия, например управляемым выпрямителем напрян ения, соединенным с усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных -перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.

Благодаря такому выполнению устройства повыщается точность контроля.

На чертеже приведена блок-схема описываемого устройства.

внжиого нризменного отражателя 5, подвпжного призменного отражателя 4, который установлен на каретке 5, перемещающейся по контролируемым направляющим 6. Устройство

содержит разделительную пластину 7, две щелевые диафрагмы 8, два фотоэлектрических преобразователя 9 и счетчик W интерференционных нолос с регулируемым коэффициентом пересчета.

К датчику // линейиых неремещеннй прикреплен отражатель 3 ннтерферометра. Входы фазового нуль-органа 12 соединены с фотоэлектрическими преобразователями 9. УсилитеоТь 13 электрически связаи с фазовым нульорганом. Источник 14 компенсационного воздействия соединен с усилителем 13 и выдает сигнал на датчик // и далее на регистрир}юЩ11Й 15 и отсчетный 16 приборы.

Выходной нучок интерферо.метра пластиной

7 разделяется на два лучка, падающие на щелевые диафрагмы 5, вырезающие нз одной нространсгвенно разделенной иолосы (или разных нолос) участки, сдвинутые на }1екоторый постоянный по фазе угол, и имеющие щирмиу,

немного меньшую щирины интерференционной полосы. За диафрагмами установлены фотоэлектрические преобразователи 9, сигналы которых подаются на вход фазового нуль-органа 12, регнстрирующего отклонение от заданного

интерференционной полосы. Сигнал, пропорциональный величине и знаку изменении ширины интерференционной полосы, усиливается усилителем 13 и поступает на вход управляемого источника J4, выход которого подключен к датчику 11. Под действием сигнала датчик наклоняет призменный отражатель до тех пор, пока шнрнна интерференционной нолосы не станет равной первоначальной ширине полосы. Сигнал компенсациоиного воздействия поступает на вход отсчетного прибора 16 и регистрационного прибора 15. Счетчик 10 с регулируемым коэффициентом пересчета подает импульсы на прибор 15 для получения масштабных отметок на кривой погрешности.

Предмет изобретения

Оптико-электронное устройство для контроля прямолинейности нацравляюш,их, содержащее интерферометр, один из отражателен которого устаиовлеи на каретке, иеремещающейся по контролируемым направляюш,им, столлянную пл-астйну, разделяющую выходной пучок интерферометра на два пучка, две щелевые диафрагмы, перекрывающие эти пучки, два фотоэлектрических преобразователя, установленных за диафрагмами, счетчик интерференционных полос с регулируемым коэффициентом пересчета, обеспечивающим получение отметок линейного масштаба на графике погрешностей, регистрирующий и отсчетный приборы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен второй отражатель интерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соединены -с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источником компенсационного воздействия, например, управляемым выирямителем напряжения, соединенным с

усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.

С/