ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМОЙ ПЛЕНКИ Советский патент 1967 года по МПК G01B7/06 G01B3/50 

Известны приборы для измерения толщины напыляемой пленки, работающие с емкостным датчиком, содержащие мостовую схему формирования электрического сигнала, генератор, усилитель и индикаторное устройство.

Предлагаемый прибор отличается от известных наличием на выходе измерительного моста фазового детектора, подавляющего влияющую на точность измерения составляющую сигнала, пропорциональную приращению активного сопротивления датчика, и схемы дифференцирования, дающей сигнал о величине скорости напыления, что позволяет уменьщить ощибку измерения в процессе напыления.

Это уменьщает ощибки измерения и позволяет измерять скорость напыления.

На чертеже изображена блок-схема прибора.

Датчик 1 включается в одно из плеч измерительного моста 2, который питается генератором 3 колебаний. На выходе моста установлен усилитель 4, усиливающий сигнал разбаланса моста. Для детектирования сигнала разбаланса использован фазовый детектор 5. Опорный сигнал на фазовый детектор подается через фазовращатель 6 и усилитель 7.

ференцирования для индикации скорости напыления.

Прибор работает следующим образом.

Перед напылением измерительный мост балансируется так, чтобы сигнал на выходе был равен нулю. Затем с помощью эталонного конденсатора производится разбаланс моста на заданную величину емкости, соответствующую требуемой толщине диэлектрика (определяется но градуировочному графику). Путем регулирования коэффициента усиления усилителя сигнал на выходе устанавливается такой величины, чтобы стрелка прибора отклонялась на всю шкалу.

После этого производится напыдение. В процессе напыления емкость датчика увеличивается. Мост при этом приближается к состоянию равновесия (стрелка прибора движется к нулю). Момент равновесия моста соответсгвует напылению пленки заданной толщины.

Предмет изобретения

Прибор для измерения толщины напыляемой пленки, работающий с емкостным датчиком, содержащий мостовую схему формирования электрического сигнала, генератор, усилитель и индикаторное устройство, отличающийся тем, что, с целью уменьшения ошибки измерения и измерения скорости напыления, прибор снабжен на выходе измерительного

моста фазовым детектором, подавляющим влияющую на точность измерения составляющую сигнала, п)fШJCфЦиoнaльнyю приращению

, «И

, . , -

активного сопротивления датчика, и схемой дифференцирования, дающей сигнал о величине скорости напыления.