Известны способы определения пористости плепок, основанные на подсчете, например, нри помощи металлографического микроскопа числа пор, приходящихся на единицу поверхности пленки, нанесенной па подложку. Для облегчения обнаружения и нодсчета числа пор исследуемый участок возле пор предварительно окрашивают.
Особенностью предлол енного способа определения пористости топких пленок, например плепок моноокиси кремния, является то, что пленку окрашивают раствором, взаимодействующим с ПОДЛОЖКОЙ, папример 5-205/о-ным раствором едкого натра. Это позволяет более точпо определить число пор.
Пленку возле пор окрашивают через 30-
60 мин после нанесепия на поверхность пленки раствора едкого натра.
Предмет изобретения
Способ определения пористости тонких пленок, папример пленок мопоокиси кремния, нанесеппой па алюминиевую подложку, основанный на окрашивапип пор и наблюдении исследуемой поверхности пленки при помощи металлографического микроскопа, отличающийся тем, что, с целью повышепия надежности определения пор, окрашивание пленки осуществляют раствором, взаимодействующим с ПОДЛОЖКОЙ, например 5-20о/о-ным раствором едкого натра.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ контроля сквозных пор в окисных и нитридных пленках на кремнии | 1980 |
|
SU894486A1 |
| СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В КРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ | 1996 |
|
RU2120683C1 |
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОДНОРОДНОСТИ СЛОЕВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ | 1996 |
|
RU2119694C1 |
| Способ определения пористости пленочных материалов | 1975 |
|
SU619830A1 |
| ПОДЛОЖКА, ПОКРЫТАЯ КОМПОЗИЦИОННОЙ ПЛЕНКОЙ, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ | 2002 |
|
RU2288167C2 |
| Способ определения пористости неорганических покрытий на металлических подложках | 1990 |
|
SU1704029A1 |
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ | 1996 |
|
RU2127927C1 |
| Способ определения пористости тонких пленок | 1973 |
|
SU521503A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ, СОДЕРЖАЩИХ КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ С ПЛЕНКОЙ ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ И РЕАКТОР ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА | 2013 |
|
RU2522812C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВОДНОЙ СУСПЕНЗИИ БИОСОВМЕСТИМЫХ ПОРИСТЫХ КРЕМНИЕВЫХ НАНОЧАСТИЦ | 2012 |
|
RU2504403C1 |
