Известны устройства для измерения электронной концентрации в нлазме, в которых газоразрядная трубка помещается в прямоугольный волновод. Такие устройства содержат СВЧ-генератор и индикатор проходящей волны. Максимальную электронную концентрацию плазмы, которая в газоразрядной трубке располагается по оси, определяют путем измерения частоты, при которой происходит отражение СВЧ-сигнала от плазмы. Целью данного изобретения является определение концентрации на различных расстояниях от оси. Для этого разрядная трубка установлена вплотную к одной из узких стенок волновода, а вторая, узкая стенка имеет напротив разрядной трубки подвижной плунжер с согласующими переходами. На чертеже приведена схема предлагаемого устройства. В волноводе / расположена разрядная трубка 2 вплотную к одной из узких стенок 3 волновода. Противоположная узкая стенка 4 является подвижным плоским плунжером и обладает согласующими переходами 5, которые обеспечивают плавный переход от размера а к размеру а волноводов 5 и 7, к которым подключены СВЧ-генератор и индикатор. Прижимы 8 и щарнирные соединения 9 обеспечивают контакт в месте соприкосновения пластин 10 с подвижным плунжером. Вначале определяют максимальную концентрацию iVwaKc Это можно сделать известными способами. Обычной формой плазмы является круговой цилиндр радиуса R. При этом концентрация максимальна по оси цилиндра, а распределение симметрично. Из волновода 6 поступает основная волна Яю, имеющая частоту со. Перемещением стенки 4 добиваются выполнения условия. 2(а -/) ,(1) где (с -скорость света). Тогда коэффициент прохождения волны Яю через участок с плазмой будет близок к 1 пока ..I 47СС2ЛГ /2ГТ (о У„акс(. При уменьщении т со до значения 2макс при выполнении условия (1) и при некотором а UQ мощность сигнала, поступающего в волновод 7, резко падает (практически до нуля). Тогда Л мякс Максимальное значение концентрации имеет место при г 0 (на оси цилиндра). При концентрация Л (г) Л „аксПоложение слоя с концентрацией Л/а Ломаке - АУУ определяется следующим образом.
