ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ Советский патент 1967 года по МПК G01B9/02 

Известны двухлучевые интерферометры для измерения ДЛИН и перемещений, построенные по схеме Майкельсона с использованием фотоэлектронного устройства для счета интерференционных полос.

Предложенный ш-гтерферометр отличается от известных тем, что отражательная система, установленная в одной из его ветвей, вьшол.нена в виде сферического отражателя, закрепленного на подвижной каретке, и системы неподвижных зерКал, состоящей из уголкового И плоского отражателей. Такое выполнение отражателБной системы -позволяет расщирить предел измерения и уменьщить влияние ненрямолинейности перемещения.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого интерферометра.

Параллельный пучок света от лазера / попадает через щель 2 на светоделительный элемент, после которого Часть светового потока проходит через пластину 3 и отражается от эталояного зеркала 4, другая часть отражается от пластины 3 и падает на сферический отрал :атель 5 с двумя параллельными поверхностями, выполненными концентрическими радиусами Ri и Rz , отражается от поверхностей отражателя 5, уголкового неподвижного отражателя 6 и плоского неподвижного отражателя 7 (основной ветви интерферометра) . После отражателя 7 световой пучок

меняет направление и, -пройдя весь вышеописанный путь (7, 6, 5), возвращается на разделительную пластину 3, проходит через нее и отражается от зеркал 8 и 9. В определенных условиях лучи интерферируют. При передвижении каретки 10 со сферическим отражателем 5 на V2 разность хода в интерферометре изменяется на величину К(-) Х/2, где К. зависит от числа отражений.

Интерференционные полосы перемещаются при этом относительно неподвижло установленных щелей 11 и 12, на которые они проектируются зеркала1ми 8 и 9. При определенном соотнощении размеров

щелей и их положения относительно интерференционной картины .на фотокатоды фотоприемников 13 и 14 попадает модулированный световой поток, а на выходе фотоприемпикон появляются синусоидальпые электрические

1сигналы, сдвинутые для осуществления реверсивного счета полос по фазе на я/12. Сдвиг фаз достигается смещением интерференцио-нпой картины на щели 12 с помощью паклонов зеркала 9 ИЛЕ введением в ход лучей пластпнк и V8, VI6 и т. д.

Полученные сигналы усиливаются усилителями 15 и 16, преобразуются схемой преобразования импульсов 17 в дискретно-цифровую форму. Па выходе реверсивного счетчика 18