СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ БЫСТРОТЫ НАТЕКАНИЯ ГАЗА В ВАКУУМНУЮ СИСТЕМУ Советский патент 1967 года по МПК G01M9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к вакуумным системам, в которых должно поддерживаться достаточно глубокое разрежение со -стационарным нате канием газа (например, вакуумные аэродинамические трубы).

Известен способ измерения быстроты натекания газа по изменению давления в объеме во времени, в котором после перекрытия всех вакуумных насосов определяют изменение давления в вакуумной емкости за некоторый промежуток времени и по этим величинам рассчитывают быстроту натекания. Однако такой способ требует изолирования вакуумной емкости от откачивающей системы и, следовательно, позволяет определить натекание газа только через стенки емкости, т. е. не учитываются иные источники натекания. Кроме того, отключение насосов от емкости делает ее не эквивалентной начальной.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерений и упростить их. Для этого поочередно включают каждый из вакуумных насосов и измеряют величины расходов газа, при которых в системе устанавливается заданное давление. Затем включают все насосы вместе и измеряют расход газа при том же давлении, после чего быстроту натекания 57- вычисляют по Следуюгцей формуле:

(),

где Sf - расход газа при заданном давлении в емкости при одновременной работе всех N насосов, 5; - расход газа при том же давлении в емкости при работе одного i насоса (/ 1,2,3, ... Л).

Предмет изобретения

Способ измерения быстроты натекания газа в вакуумную систему, имеющую не менее двух вакуумных насосов, способных работать как в совокупности, так и порознь, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и их упрощения, поочередно включают каждый из насосов и измеряют величины расходов газа, при установившемся в системе заданном давлении, затем включают все насосы вместе и измеряют расход газа при том же давлении, после чего быстроту натекания Sr определяют по формуле 3 где Sf - расход газа при заданном давлеНИИ в емкости при одновременной работе всех Л насосов системы, 4 5 - расход газа при том же давлении в емкости при работе одного г-го насоса (г 1, 2, 3, ..., Л).