УСТРОЙСТВО для РЕГУЛИРОВАНИЯ ДИАМЕТРА КРИСТАЛЛА Советский патент 1968 года по МПК C30B13/30 

Известно устройство для регулирования диаметра кристалла в продессе бестигельной зонной плавки, состояш,ие из олтической системы, установленного ненодвижно фотопрйемника, и.млульсного преобразователя и регулятора.

Особенностью нредложенного устройства Является то, что его оптическая система включает в себя нсследовательно установленные па оптической оси две призмы, обращенные одна к другой параллельными основаниями, собирающую л рассеивающую лннзы и проекционный экран. При этом фотопрнемпик визирован на проекционный экран и снабжен приводом 1вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с каскадом сравнения входного и эталонного импульсов по длительности. Это дает возможность .повысить точность стабилизации заданного диаметра.

На чертеже изображена схема устройства для регулирования диаметра.

Изображение раонлавленной зоны / кристалла 2 формируется объективом 3 со светофильтром 4. Размер изображения по высоте ограничивается щелевой диафрагмой 5. С .помощью оцтичеоких призм 6 и 7, обращенных одна к другой параллельными основаниями,

и линз 8 ti 9 изображение преобразуется таким образом, что больщая часть его середины вырезается, а периферийные части имеют увеличенный линейный масщтаб.

Преобразованное изображение проецируется на полупрозрачный проекционный экран 10, за плоскостью которого установлен фогоприемник 11, снабженный приводо м 12, вращения его в горизонтальной плоскости, в нанравлении -продольной оси проецируемого изображения. Скорость вращения фотопрнемника должна быть больще скорости вращения кристалла с тем, чтобы изменение скорости вращения кристалла не влияло на точность

измерения диаметра.

Фотолриемник 11 вырабатывает импульсы прямоугольной формы, длительность которых зависит от изменений размера изображения диаметра расплавленной зо-ны, соответствующего заданному диаметру кристалла. Имнульсы поступают в преобразователь 13 с время-имлульспой схемой измерения, вырабатывающий эталонный импульс и снабженный каскадом сравнения входного и эталонного

знаку отклонения величины диаметра от заданного значения, который подается на вход электронного регулятора 14, вырабатывающего управляющие сигналы в цепи управления генератора /5 высокой ча стоты. При этом изменяется мощность высокочастотного поля в индукторе 16 и, следовательно, тепловые условия процесса, до установления велИчииы диаметра, равной заданиой.

Устройство может быть применено и для автоматического регулирования диаметра кристалла по заданной программе.

Предмет изобретения

Устройство для регулирования диаметра кристалла, например растущего кристалла, в

Процессе бестигельной зонной плавки, включающее оптическую систему с фотоприемником, импульсный преобразователь и регуля тор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности стабилизации заданного диаметра, оптическая система включает последовательно установленные на оптической оси две призмы, обращенные одна к другой параллельными основаниями, собирающую и рассеиваюп ую линзы и проекционный экран, цричем фотоприемник визирован на проекционный экран и снабжен приводом вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с каскадом сравнения входного и эталонного импульсов по длительности.