УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПОДВИЖНОЙ и НЕПОДВИЖНОЙ ПЛОСКОСТЕЙ Советский патент 1968 года по МПК G01B11/14 

Данное изобретение относится к области Электроавтоматики и электровакуумной техники.

Известные устройства для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей, содержащие осветители, механизм перемещения подвижной плоскости, оптическую систему и индикатор, обладают рядом недостатков: невысокой точностью измерения совмещения, невозможностью непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, отсутствием автоматизации процесса совмещения, применением сложной оптики, малой производительностью, невозможностью передачи информации о контроле на расстояние.

Предлагаемое устройство лишено указанных недостатков благодаря тому, что в нем оптическая система выполнена в виде трех непрерывно закрепленных световодов, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, прп этом к выходным торцам последних подключена схема преобразования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемнпка, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.

Па чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Для совмещения неподвижной плоскости, например подложки / с подвижной маской 2,

на последней нанесены две щели 3 н 4. Контроль совл1ещения производится по трем точкам с помощью трех неподвижно закрепленных световодов 5, 6 и 7, на выходе которых установлены три схемы 8, 9 к 10 преобразованпя световых потоков. Момент точного совмещения определяется максимальными показаниями всех схем преобразования световых потоков, на которые свет поступает от осветителей // и 12 через щели 3 и 4. Схема преобразования световых потоков в простейшем случае может состоять из фотоэлектрического преобразователя и микроамперметра. При осуществлении процесса совмещения, когда маска 2 занимает положение, при котором пи

один из световодов не совпадает со щелями, необходимо сначала осуществить поворот маски в одну из сторон механизмом 13 до момента появления увеличения показаний одной из схем 8 или 9. После того, как схема даст

максимальные показания, маска 2 переместится механизмом 14 до максимального увеличения показаний схемы 9, при этом обе схемы (8 и 9) должны давать максимальные показания. Для совмещения в третьей точке пспоток от осветителя 12 проходит через щель 3 и преобразуется схемой 10.

Максимальные показания всех трех схем соответствуют моменту окончания совмещения.

Для упрощения схемы преобразования световых потоков используется вращающийся с постоянной скоростью диск 16 с тремя рядами отверстий, фотоприемник 17 и три фильтра 18, 19 и 20, выходы которых последовательно подсоединены к индикатору 21, например микроамперметру. Фильтры настроены на соответствующие частоты отверстий, нанесенных на диске. Применение модуляции повышает чувствительность схемы преобразования слабых световых потоков. Точность контроля совмещения определяется размерами щелей, диаметром световодов и чувствительностью схемы преобразования.

Предмет изобретения

Устройство для контроля совмещения поД вижной и неподвижной плоскостей, содержащее осветители, механизмы перемещения под вижной плоскости, оптическую систему и индикатор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, оптическая система

выполнена в виде трех световодов, неподвижно закрепленных, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, при этом к выходным торцам последних подключена схема преобразования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемника, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.