КОЛЛЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ Советский патент 1968 года по МПК H01J23/27 H01J7/16 

Известны коллекторы электронов для СВЧприборов, на внутренней поверхности которых закреплен активный металл с геттерными свойствами, например цирконий. Однако откачка приборов с такой конструкцией коллектора недостаточно эффективна.

Предлагаемый коллектор электронов отличается от известных тем, что активный металл нанесен только на дальнюю от входа пучка поверхность коллектора, а по оси последнего расположен штырь, внутренняя полость которого соединена с системой охлаждения.

На чертеже представлена предлагаемая конструкция коллектора.

Он имеет штырь / с развитой за счет ребер поверхностью, цилиндр 2 из активного металла, цапример из титана или циркония, закрепленный на внутренней поверхности коллектора. Отверстия 3, служашие для тепловой развязки, могут отсутствовать при значительных мощностях коллектора. Охлаждение сорбирующей поверхности осуществляется через канал 4.

Сорбционный насос, создаваемый при такой конструкции коллектора, работает следующим образом. Электронный пучок, попав в коллектор, под действием сил расталкивания расходится. Попадая на цилиндр из активного металла, электроны распыляют его. Металл конденсируется на охлаждаемом штыре. Эффект откачки газов достигается за счет испарения и конденсации активного металла.

Долговечность насоса зависит от количества активного металла, что регулируется толщиной

цилиндра 2. Подбор доли тока для распыления поглощающего металла зависит от требуемой производительности насоса и предельного вакуума.

Расположение цилиндра из активного металла выбрано в дальнем конце коллектора исходя из того, что при хорошем вакууме основная нагрузка воспринимается передней частью коллектора. При ухудшении вакуума пучок за счет ионной фокусировки начинает более интенсивно проходить в дальний конец и увеличивать тепловую нагрузку цилиндра, повышая таким образом эффективность откачки.

Предмет изобретения

Коллектор электронов для СВЧ-приборов О-типа, на внутренней поверхности которого закреплен активный металл с газопоглотительными свойствами, отличающийся те.м, что, с целью повышения эффективности откачки

прибора, по оси коллектора в конце, противоположном входу электронного пучка, расположен штырь, внутренняя полость которого соединена с системой охлаждения, а активный металл нанесен только на дальнюю от входа пучка 32 / / 14 /I