ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА Советский патент 1968 года по МПК F04F9/00 F04B37/04 

Изобретение предназначено для безмасляной откачки различных объемов и приборов.

Вакуумные откачные системы, содержащие адсорбционный « диффузионный паромасляный насосы, известны.

Предлагаемая вакуумная система отличается от известных тем, что между диффузионным насосом и откачиваемым объемом установлена пористая перегородка, пропускающая инертные газы и задерл иБающая пары масла. Перегородка выполнена, например, из пористого стекла с размером пор не более

10 А.

Описываемая вакуумная система позволяет удалять из объема инертные газы .и повысить качеетво откачки.

На чертеже схематически изображена предлагаемая система.

Описываемая вакуумная система позволяет откач.и,васмый объем 2, пористую перегородку 3, пароструйный насос 4, насос 5. Перегородка выполнена из пористого стекла Na 7/23, выщелоченного после закалки. Такие перего родки jMoryT быть изготовлены с размерами

о

иор 3-4А, что делает их иепрошлцаемыми для па.ров масла, однако инертные газы могут проходить через них достаточно свободно.

Экспериментально было определено, что пористые перегородки с размерами пор порядка 30А также не пропускают паров масла, видимо, из-за большой длины молекул последних и могут успещно применяться. Проводимость пористых перегородок по гелию оказалась на 2-3 порядка выще, чем по воздуху, что делает ненужным применение паромасляного насоса для получения давлений -выше 10 мм рт. ст. В этом случае в масляной части откачной системы оказывается достаточным одного вращательного насоса.

Предмет изобретения

1.Вакуумная система для откачки объемов, содержащая параллельно подсоединенные адсорбциоппый и диффузионный паро-масляный насосы, отличающаяся тем, что, с целью удаления из объема инертных газов нрп обеспечении безмасляной откачки, между диффузионным насосом и откачиваемым объемом установлена пористая перегородка, п-ропускающая инертные газы и задерживающая пары масла.

2.Вакуумная система по п. 1, отличающаяся тем, что перегородка выполнена из пори