ОДНООБЪЕКТИВИЫЙ РАСТРОВЫЙ МИКРОСКОП Советский патент 1968 года по МПК G01B9/04 G01B11/25 G01B11/30 

Известные однообъективные растровые микроскопы, содержащие осветительный тубус е источником света и растром, объектив, наблюдательный тубус с растром сравнения и систему отсчета, не позволяют облегчить и ускорить процесс измерения и проводить наблюдения в равнонаклонных пучках.

Предложенный микроскоп отличается от известных тем, что он снабжен размещенными в передней фокальной плоскости его объектива двумя симметрично смещенйьгми от юсительно оптической оси диафрагмами, первая из которых служит входным зрачком проектирующего тубуса, а вторая - выходным зрачком наблюдательного тубуса.

На чертеже дана принципиальная оптическая схема описываемого микроскопа.

Он содержит осветительный тубус, образованный источником 1 света конденсором 2, растром 3 и зеркалом 4, объекти В 5, и наблюдательный тубус («а чертеже не показан).

Созданное осветительным тубусом изображение растра 3 проектируется на исследуемую поверхность 6, после отражения от которой тем же объективом 5 через симметрично расположенный относительно оптической оси зрачок передается в плоскость 7 растра сравнения. Полученные в результате наложения штрихов указанных растров муаровые полосы рассматриваются через наблюдательный тубус с измерительным устройством (на чертеже не показано).

Предмет изобретения

Однообъективный растровый ми1кроскоп для оценки качества поверхности, содержащий осветительный тубус, с источни ком света и растром, объектив, наблюдательный тубус с растром сравнения и систему отсчета, отличающийся тем, что, с целью облегчения и ускорения процесса измерения и цроведения наблюдений в равнонаклонных пучках, он снабжен размещенными в передней фО:кальной плоскости его объектива двумя симметрично смещенными относительно оптической оси диафрагмами, первая из которых служит входным зрачком проектирующего тубуса, а рторая - выходным зрачком наблюдате.тьного тубуса.

//////////77

/V /

2

Диасррагмо